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广州潽拓光电科技-深圳安捷伦真空泵

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潽拓——安捷伦真空泵,分子泵

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扩展测试寿命测试 在通过对有统计学意义数量的泵进行加速寿命测试(长时间暴露于加速损坏的条件下),对泵的可靠性进行验证。该测试可确保泵无故障运行的平均时间超过五年。冲击测试 对一批泵在运行和非运行条件下进行一系列测试,证明泵的抗冲击性。每个泵受到 30–120 g 的加速度,相当于从82 厘米/32 英寸高跌落(处于非运行状态的泵)和从 15 厘米/6 英寸高跌落(处于运行状态的泵)。在泵处于垂直、水平和倒立状态时,各进行 6 次冲击测试。所测试的泵在 24 次跌落后无任何问题(不发生转子机械接触,泵运行状态不变)。在每次跌落后验证泵的不平衡性,结果表明变化,远低于阈值。



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“黑科技” No.2  AFS 安捷伦悬浮轴承技术

一般的涡轮分子泵的设计,泵的轴承是通过过盈配合与转子及泵体轴承座紧密连接的,一旦泵体有振动或冲击,这些振动就会传递到轴承,并且通过轴承传递到转子。由于涡轮分子泵的轴承和转子都在高速转动,对振动特别敏感,传递到轴承的振动会影响轴承的寿命,传递到转子的振动会造成转子发生位移,甚至会与泵体或定子接触。而一旦高速转动的转子与其它静止的部分接触,巨大的冲击力会立即造成转子叶片的破碎,整泵也随之报废。

安捷伦 AFS 悬浮轴承系统,采用特殊的弹性材料隔离转子与泵体,避免转子和轴承受到从泵体传来的冲击;并且由于弹性材料的阻尼效应,可以吸收各种振动的能量,降低整泵的噪音和振动,保证佳的轴承工作条件,从而能延长工作寿命,程度减少系统停机时间,确保长时间工作的稳定性。




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使用经过加速的离子束照射被测的表面,通过分析反射的粒子或光谱来测定被照射表面的具体成分。离子束分析技术可以对物体表面和近表面的元素进行分析,具有快速直接、无需样品处理、无损、元素覆盖范围广等特点。

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测试条件和装置

被测分子泵的型号为 TwisTorr304 FS CFF6,使用一对亥姆霍兹线圈(直径 120 厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。

被测分子泵由一台涡旋干泵作为前级,分子泵的进气口压力抽至 1E-3 mbar 以下(该压力以下,热对流几乎为零,分子泵转子的热量仅可以通过辐射传递出去很小的一部分)。使用 20℃ 的冷却水对分子泵持续进行冷却;分子泵的控制器会自动调整电机电流,保持转子以恒定转速运行。使用安装于分子泵口的红外温度计测量被测试分子泵的转子温度。使用连接到分子泵外壳的 PT100 热电阻测量定子的温度。