广州潽拓光电科技有限公司——瓦里安分子泵
VARIAN TURBO-V301 NAV cu 瓦里安分子泵控制器维修
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分子泵是否对冷却有明确要求?如风冷需要外界温度是多少?如水冷则对水有何具体要求?如未达到要求会出现何后果?
答:注意水温和水流量,冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。
分子泵电源存在接地、屏蔽等问题,应如何做才是方式?
答:电源本身有接地线,只需要保证市网有良好接地就可以了;屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。
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Varian Turbo-V300HT涡轮转子都用单独一块铝合金整体加工而成, 重量***小化, 分子泵可以在360度范围内以任意角度工作而无需任何调整整体化设计降低了作用在材料和轴承上的压力,可靠性极高。
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涡轮分子泵的优势是启动快,具有抵抗各种射线的照射的能力,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,所以能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵在现今***用于高能加su器、可控热核反应装置、重粒子加su器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。
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安捷伦的分子泵设计是免日常维护的。由于工艺环境差异,分子泵的工作寿命差别很大,但是如果分子泵已经工作了很长时间(5年以上),或者出现了噪音、温度、功率异常,及时的对其进行维护保养可以大大延长其使用寿命。
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Varian TV401-301 的涡轮转子采用Varian砖利的“MacroTorr”技术设计加工而成,整个涡轮转子整体成型,共有由11层叶片组成,qian七层为标准叶片,每层的角度从高到低,后四层为Varian 砖利技术的“Macrotorr”die片组成,涡轮转子其在分子泵内部以60000转/分钟的速度高速旋转