潽拓——爱德华磁悬浮涡轮泵,分子泵
Edwards PVMK是一种快动式直线或直角杠操作阀。杠杠与自润滑的塑料凸轮活塞相连,通过PTFE轴承促动阀杠和阀板。阀板O型圈槽进行排气以避免气爆。阀设计为可在10-9mbar/8*10-10 Torr以上和2100 mabr/1575 Torr (30 psi)以下的压力范围内运行。
爱德华兹pv40mk真空停止阀
潽拓——爱德华磁悬浮涡轮泵,分子泵
Edwards全磁悬浮涡轮分子泵STP-iS2207 爱德华分子泵
技术参数:
入口法兰尺寸 VG200/ISO200F/ICF253/ISO250F/VG250/ICF305
前级抽气口尺寸 KF40
抽速 N2/Ar2200/1900 ls-1
压缩比 N2/H2>107
极限压力 10-6 Pa (10-8 Torr)
允许的前级压力 200 Pa
大气流 N2 *(仅水冷) 3200 sccm
(5.41 Pam3s-1)
大气流 Ar *(仅水冷) 1000 sccm
(1.69 Pam3s-1)
额定速度 36500 rpm
运转到 90% 额定速度的时间 <8 分钟
固定位置 任何方向
输入电压 200-240 V
大输入功率(不带 TMS) 750 VA
重量 45 kg
潽拓——爱德华磁悬浮涡轮泵,分子泵
广州潽拓光电维修 爱德华 Edwards NEXT 2002000 VER.160W真空泵
分子泵的分类
复合式分子泵的形式很多,按结构分,主要有两种:一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速,一般采用有利于提高抽速的叶片形状,级数在 l0 级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比,提高泵的出口压力。