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多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。

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极限压力是设备厂家出厂前按照国jia标准、采用标准测试设备、仪表、方法进行的泵入口zui理想的状态下所得到的值.zui终压力可以理解为泵与设备安装后对设备抽空后所能达到的zui低压力