广州潽拓光电科技有限公司——Agilent真空泵

使用经过加速的离子束照射被测的表面，通过分析反射的粒子或光谱来测定被照射表面的具体成分。离子束分析技术可以对物体表面和近表面的元素进行分析，具有快速直接、无需样品处理、无损、元素覆盖范围广等特点。

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测试条件和装置

被测分子泵的型号为 TwisTorr304 FS CFF6，使用一对亥姆霍兹线圈(直径 120 厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。

被测分子泵由一台涡旋干泵作为前级，分子泵的进气口压力抽至 1E-3 mbar 以下（该压力以下，热对流几乎为零，分子泵转子的热量仅可以通过辐射传递出去很小的一部分）。使用 20℃ 的冷却水对分子泵持续进行冷却；分子泵的控制器会自动调整电机电流，保持转子以恒定转速运行。使用安装于分子泵口的红外温度计测量被测试分子泵的转子温度。使用连接到分子泵外壳的 PT100 热电阻测量定子的温度。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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采用该技术的分子泵尺寸会更紧凑，并且有更高的压缩比和前级耐压。更高的压缩比（特别是对小分子气体的高压缩比）可以带来更好的极限真空，而更高的前级耐压允许使用更小的前级泵，从而降低了整个真空系统的成本和尺寸。

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安捷伦真空（原瓦里安真空）是离子泵，赛斯是NEG吸气剂泵的始创者，两家公司有累计超过100年的真空经验。此次的吸气剂复合离子泵采用了各自的技术，两家公司充分的信任和紧密的合作促成了这一全新产品的问世，我们期待更多类似的合作，和更多让我们眼前一亮的产品。

安捷伦 AFS 悬浮轴承系统，采用特殊的弹性材料隔离转子与泵体，避免转子和轴承受到从泵体传来的冲击；并且由于弹性材料的阻尼效应，可以吸收各种振动的能量，降低整泵的噪音和振动，保证好的轴

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在考古和艺术品鉴定、修复行业，科学仪器发挥着越来越重要的作用，艺术史学家、考古学家和艺术品修复使用各种仪器来研究世界各地的艺术和文化遗产，近年来，一种使用安捷伦真空产品的全新仪器正在帮助他们给古董艺术品带来新的生命。

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不过分子泵的高转速使得它十分“脆弱”。一粒灰尘甚至气体本身都会对运转中的风扇造成巨大的伤害。所以分子泵只可以用来抽已经具有一定真空度的腔体，并且其出气端也要保证有较好的真空度防止气体倒灌伤害叶片。我们采取的办法是给分子泵接入一个前级泵，一般都是用机械泵。只有先用机械泵将腔体中的真空度抽至10Pa以下的时候，分子泵才可以启动。并且只要分子泵在启动状态，前级机械泵就要一致维持运转。启动和关闭都要严格遵循程序，否则就可能造成“机毁泵亡”哦。

涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。其优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。好凯德涡轮分子泵还具有灵活的安装方式，高抽速不受高负荷或杂质气体侵入影响。