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真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。如果出现工艺过程不允许的情况，应选择无振动的泵或者采取防振动措施，防止真空泵在工作时振动对环境的影响。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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Shimadzu岛津TMP-203M/MC磁悬浮分子泵对应的控制器为：Shimadzu EI-D203M

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Shimadzu岛津TMP-203M/MC真空泵维修一般流程：

试机---确定问题点---拆泵---报价---维修及更换零件---调试安装---试机---客户验收