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由于涡轮分子泵是高速旋转的机械，因此轴承是涡轮分子泵的关键部件。涡轮分子泵的轴承有如下几种：

1、油润滑轴承

2、油脂润滑轴承

3、气膜轴承

4、磁悬浮轴承

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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流量是选泵的重要性能数据之一，它直接关系到整个装置的的生产能力和输送能力。如设计院工艺设计中能算出泵正常、zui 小、zui大三种流量。选择泵时，以zui大流量为依据，兼顾正常流量，在没有zui大流量时，通常可取正常流量的1.1倍作为zui大流量。

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五轴磁悬浮分子泵分子泵维修，请务必确认维修厂家有无如下设备及备件：氦质谱检漏仪：是用来测试分子泵有无渗漏的，五轴磁悬浮分子泵维修后，因真空密封及接口较多，很容易有轻微渗漏而导致您镀膜线腔体中真空度差，又直接导致镀膜质量差。