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现在大部分涡轮分子泵转子都用油润滑轴承。因为这种轴承在转子的排气侧，所以油蒸汽不会到达涡轮分子泵的入口。油通过轴上开的倒锥孔上油润滑上、下轴承。在油循环的过程中，应能控制加速、减速、全速运转，转速降低运行或电源故障时的油量。

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