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分子泵的原理由是利用气体分子和高速运动的转子互相碰撞而将气体分子带出系統外。气体分子碰撞到转子的表面反弹后，将会在其原來的热分子速度之外获得一部分与转子表面运动方向平行的额外速度。为了避免分子间的干扰而使运动速度下降，平均自由程的距离必须大于叶片之间的距离。因此，谱拓（）认为就需要一个前级泵连接在分子泵的上游以确保分子泵内粒子密度足够的小。

inficon真空涡轮分子泵出色的表现是因为：

■气体压缩高，气流量大

■前级压力高

■整体式驱动单元和冷却系统

■高抽速：10-2,000l/s

隔膜泵由传动部分和隔膜缸头两大部分组成。通过进气阀把气体引入腔室然后传递到出气阀排出气体。

在此应用条件下，泵的 很终压力可达70hPa，抽速 很高可接近10m³/h。

inficon真空隔膜泵的优势：

■ 干泵无油

■膜片

■震动低，噪音轻

■高稳定性

■易于维护

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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热传导真空计为什么易老化？

答：因热丝长期工作在高温下，受气体作用易氧化变细，或导致热丝本身结晶构造变化，因此会改变热丝的电阻，造成零点的漂移，这是属于热丝本体的。热丝表面因会吸附气体而改变了表面的适应系数，即热交换的机制，造成灵敏度的变化。以上均属于老化现象。

电离真空计的工作原理？答：利用电子对气体的碰撞产生电离作用，而电离的效果是与气体压力有关的。当电子电流一定时，电离形成的离子流正比于压力，故通过离子流间接测量气体的压力。

什么是电离真空计的外控接法？有何好处？答：如规管的栅极作为电子加速极，而板极作为离子收集极，此种接法即为外控接法。其好处是电子在加速中不易被栅丝截获，并受灯丝和板极的电位排斥，可以在灯丝与板极的空间，反复穿过栅极来回振荡，如此，可显著提高测量的灵敏度。

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电路主要由开关电容电荷放大器和一阶Σ-Δ调制器组成，利用0.25umCMOS技术制作成集成芯片，芯片有效面积约为2平方毫米，供电电压2.5V，功耗约为6mW。电路的灵敏度可以达到2.5V/pF，分辨率可达到4aF。为满足不同应用的需求，PérezSanjurjo等设计了一种适用于inficon电容式传感器的电容-数字信号转换电路。

可编程放大器提供了多个增益，使得电路可以根据信号的输入强度及要求来选择合适增益。可调方波时钟发生器为传感器提供激励信号，同时为解调器提供时钟信号，这种可调性可以抑制传感器的结构变化以及封装给电路的影响。另外，该电路中采用了片上电容阵列，可以抵消差动结构电容的失配导致的不平衡。

差动式可调谐微电容测量电路原理图电路集成芯片采用0.13umCMOS技术制造，供电电压为1.8V，能耗约为10mW。测试结果表明，电路能够测量inficon电容式传感器中的飞法级别的电容变化，灵敏度可达到0.3mV/fF，通过调节相关参数，灵敏度可达到1mV/fF。Awmini等设计了一种开关电容电路来测量具有差动敏感电容结构的inficon设备的微小电容变化。

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