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脉冲激光沉积系统PLD客户案例：某大学电信系脉冲激光沉积系统

1.系统功能：主要用于Mn氧化物等复杂材料膜。

2.涡轮分子泵真空度要求:真空度

3.样品尺寸:6英寸

4.基片旋转,加热温度：750℃

5.膜生长控制模式:镀率/厚度/时间控制模式

真空系统配置:超高真空系统配置:涡轮分子泵400

接口:DN100CF-F

极限真空:

氮气压缩比:>1X1011涡轮分子泵80

接口:DN63CF-F

极限真空:

氮气压缩比:>1X1011隔膜泵MVP040

口径:G1/4”

极限真空:≦5mbar

抽速:2.3m3/h

涡轮分子泵抽速范围10至2700L/S,转速很高90,000rpm,极限真空很大1E-11mbar,对小分子气体具有更高的压缩比,实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100,000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用,推荐搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型应用>>

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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分子泵是氦质谱检漏仪中获得高真空重要部,是氦质谱检漏仪中不可或缺关键部件,分子泵性能直接影响检漏仪性能参数的好坏,分子泵的发展直接影响着氦质谱检漏技术。本文重点讨论分子泵转速对氦质谱检漏的影响。2、逆扩散型检漏仪逆扩散型的检漏仪的检漏口是连接到高真空泵与低真空泵之间,所以被检试件的可检漏压力就是高真泵的前级耐压。如果试件压力超过这个压力,将使高真空泵不能正常工作。普通涡轮分子泵的前级耐压,一般不超过50Pa,远达不到高压检漏的要求。

1980年国际上出现一种称之为“复合型”的分子泵,现今,其前级耐压很高已达2000Pa。这种泵用作氦质谱检漏仪的高真空泵,可直接实现在高的试件压力下的检漏。用复合分子泵构成的一种可实现高压强下的检漏仪,其工作过程如下。当被检试件抽至1500Pa,V1开，氨气逆扩散穿越整个分子泵进入质谱室，实现仪器的逆扩散检漏。

若能进一步将试件抽至200Pa以下，则V2关闭，V3打开，从泵的中间口逆扩散至质谱室，若能进一步将试件抽至40Pa以下，则V3关闭，V4打开，氦气从泵的上部逆扩散进入质谱室，或直接进入质谱室(常规检漏）。这种从高压检大漏到实现检微漏的全自动过程，一气呵成，不仅，也便于漏率的定量，由于每个状态下的阀门流导和泵的压缩比等参数都是固定不变的，仪器只需1次校准即可。

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真空近年来陆续发布了多个型号的TwisTorr分子泵，该系列把分子泵的典型工作范围从高真空扩展到了超高真空。近日，针对一些对压缩比要求不高而气体流量很大的应用，真空又发布了谱拓系列分子泵。该系列包含305FSQ、305-ICQ，以及两个带有中间抽气口的型号305SF和305-ICSF。305FSQ和305SF通过独立的控制器供电和控制，而305-ICQ和305-ICSF具有集成于泵身的控制器，只需要为其提供24V电源即可工作。

很高450sccm的氮气流量

305FSQ和305SF可以处理很大450sccm的氮气流量，和很大500sccm的氢气/氦气流量，在同等抽速和功率的产品中，是要求高气体流量的科研和工业应用的理想选择。而具有集成式控制器的305-ICQ和305-ICSF也可以处理很大380sccm的氮气流量，和很大500sccm的氢气/氦气流量，可以应对绝大多数的仪器应用。

改进的转子结构

谱拓系列分子泵拥有的转子结构：比其他305分子泵增加了一级涡轮叶片，并采用了与其他305分子泵不同的牵引级。牵引级是专为大气载而设计的，它拥有更宽大的气体通道，解决了其他牵引级结构在高负载长期运行时发热集中的问题，可以承受持续的大气体流量，并可将前级耐压提高至16mbar。

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