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爱德华分子泵STP1303维修-广州市爱德华分子泵-潽拓光电

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广州潽拓——{精},分子泵

     EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修


爱德华EPX 180真空干泵

       Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用,如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能,既可集成到制程工具,可以远程安装。重量43.5KG。





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视频作者:广州潽拓光电科技有限公司






潽拓——爱德华分子泵,分子泵

爱德华Edwards nEXT400IID UHV-160W供给泵








      广州潽拓从事机电自动化,光电存储媒体,半导体,,太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修,销售,设计,开发及系统工程,软件开发,主要维修leybold,pfeiffer,alcatel,agilent(varian),shimadzu,Edwards,Osaka等一线品牌分子泵

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Edwards next85h cf63 nw16 80w 涡轮增压泵




概述:

      爱德华Edwards nEXT轮分子泵是一种带有复合牵引级和机载式控制器的混合轴承涡轮分子泵,抽速的范围为 47 ls-1 至 400 ls-1。它们全部使用永磁上轴承,能够消除转子顶部的碳氢化合物,同时使用油润滑下轴承,可实现可靠的高速操作。



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