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日本岛津SHIMADZU tmp-803lm 涡轮分子泵
日本岛津Shimadzu TMP-803M岛津磁悬浮分子泵维修，岛津Shimadzu TMP-803LM/TMP-803LMC 日本岛津磁悬浮涡轮分子泵采用五轴控制磁性轴承系统，无需使用油润滑，在运转过程当中，无任何摩擦，是真正做到完全无油、免维护、安装的涡轮分子泵，Shimadzu TMP-803LM/TMP-803LMC 分子泵进气法兰口VG150/ICF203/ISO160B，出气法兰口KF40，抽速可达到800 L/s，转速为35000 rpm， 极限压力1 x 10-11 Torr(1.3 x 10-11 mbar)，Shimadzu TMP-803LM岛津磁悬浮分子泵对应的控制器为：Shimadzu EI-D1003M。
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磁悬浮分子泵工作原理
它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
Shimadzu EI-D2003M岛津磁悬浮分子泵控制器输入电压单相AC200～240V，额定频率450Hz，所需电力1.2kVA，岛津EI-D2003M磁悬浮分子泵驱动器可以控制的分子泵有Shimadzu TMP-2003M/MC、TMP-2003LM/LMC等
广州潽拓光电科技有限公司——爱德华复合分子泵
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涡轮分子泵的抽气原理
是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
涡轮分子泵的优点是启动快，耐各种射线的照射，耐大气冲击，无储气和解吸作用，无油蒸气污染或污染极*，可获得洁净的超高真空
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