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番禺区英福康真空计保养价格油封「多图」

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电路主要由开关电容电荷放大器和一阶Σ-Δ调制器组成,利用0.25umCMOS技术制作成集成芯片,芯片有效面积约为2平方毫米,供电电压2.5V,功耗约为6mW。电路的灵敏度可以达到2.5V/pF,分辨率可达到4aF。为满足不同应用的需求,PérezSanjurjo等设计了一种适用于inficon电容式传感器的电容-数字信号转换电路。



可编程放大器提供了多个增益,使得电路可以根据信号的输入强度及要求来选择合适增益。可调方波时钟发生器为传感器提供激励信号,同时为解调器提供时钟信号,这种可调性可以抑制传感器的结构变化以及封装给电路的影响。另外,该电路中采用了片上电容阵列,可以抵消差动结构电容的失配导致的不平衡。



差动式可调谐微电容测量电路原理图电路集成芯片采用0.13umCMOS技术制造,供电电压为1.8V,能耗约为10mW。测试结果表明,电路能够测量inficon电容式传感器中的飞法级别的电容变化,灵敏度可达到0.3mV/fF,通过调节相关参数,灵敏度可达到1mV/fF。Awmini等设计了一种开关电容电路来测量具有差动敏感电容结构的inficon设备的微小电容变化。


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▲DL-10A谐振阻抗测量电路

近似地谐振阻抗Z为:Z=R×VAE/VDE。其中VAE是AE两点间的电压,VDE是DE两点间的电压。测量了阻抗,由阻抗与气体压强的关系曲线,便可知道气体的压强。例如,DL-10A型石英真空计采用FC135晶振做传感器,其阻抗与压强的关系如下所示:▲FC135晶振谐振阻抗与压强的关系



图中纵坐标△Z是谐振阻抗Z与固有阻抗Z0之差。固有阻抗是压强远小于下限即小于10-3Pa的阻抗。横坐标是压强,由图可见,在压强小于100Pa,△Z与P近似成线性关系。在104-105Pa之间,△Z与P的开方成正比。我们将上述曲线存在单片机中,测量△Z值,由数码管显示对应的压强值,这就是石英真空计的工作原理。



DL-10A设置一个零点调节按键,当压强小于10-3Pa时,按一下该按键,单片机执行中断程序,将此时的Z值存在单片机的EEPROM中。DL-10A还设置一个大气调节按键,当传感器暴露在大气时,按一下该按键,单片机执行另一中断程序,将此时的Z值存在单片机的另一EEPROM中。当仪器长时间不用或环境温度变化较大时,应进行零点调节及大气调节。

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真空检漏的实际意义?答:真空系统软件的限真空决策于系统软件的抽速和漏汽量,故在抽速一定时,漏气量就选择了真空度,欲使系统软件实现设定的限真空,务必根据检漏和补漏使体系的漏汽量操纵在容许漏率范畴内。



从基本原理上讲,真空检漏可分成哪两类?答:可以分成:1)工作压力检漏法,包含①打气检漏法,②卤素灯泡检漏法,③氨检漏法。2)真空检漏法,包含①高频率火苗检漏法,②真空计检漏法,③质谱仪检漏法。



概述真空泵的抽真空基本原理。答:1)利用缩小功效将汽体清除到泵外。a.机械设备周期时间式胀大缩小,b.蒸气流黏滞牵引带缩小,c.刚度表层的牵引带缩小。2)利用吸咐功效将汽体拘束于泵内。a.利用水解呼吸功效,b.利用物理学吸咐和有机化学吸咐功效。


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