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咱们平时总是说这对情侣很般配，经常用郎才女貌，天作之合来形容他们。其实世界万物也总是相伴而生，在真空的世界里，也有一对不离不弃的“超级情侣”。我们习惯称这对超级伴侣为前级真空泵和高真空泵。前级泵必须满足特定的抽气速度和极限真空，并且可以持续的无故障长时间运行，高真空泵极限真空极高，只有分子泵才能有此能力。

低温泵的结构通过2段式实现高真空。冷头有2段、１段冷头有较大的冷冻能力，可冷却至80K(卡尔文）以下。至此，主要是水分的排出，接下来2段冷头进一步冷却，排出N2，O2，Ar，H2等分子，以获得更高的真空。低温泵的冷冻机为2段式，1段具有较大的制冷能力，可以冷却至80K或更低，2段的制冷能力较小，可以冷却至10至12K。15K挡板(1)(冷凝板)和15K挡板(2)(吸附板)安装在冷冻机的2段上80K挡板和80K屏蔽桶安装在制冷能力较大的1段上，防止受到室温的热(辐射)。另外，为了防止吸附剂表面被覆盖，吸附剂被安装在浓缩性气体不能进入的挡板的内侧。

选择爱发科低温泵的理由

爱发科低温泵在LCD产业市占率100%、OLED产业市占率95%、在光学薄膜制造方面市占率85%。

爱发科低温泵根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

爱发科设立了低温泵开发&制造基地，形成了完善的销售和售后体系。

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在纯粹涡轮分子泵的情况下,由于其分子流,需要的前级真空大约为为 5～10^-2mbar。所以需要前级泵来预抽，如果不预抽的话,直接启动分子泵, 由于形成的压缩比太大容易把分子泵叶片损坏，这就是为什么分子泵需要前级泵的主要原因。

隔膜泵作为前级泵的优势

1.外观小巧精致，重量小;

2.表面光滑容易清洁;

3.运行异常安静且振动低;

4.根据客户需要，干式隔膜泵可供选择的极限真空和抽气速度;

5.隔膜寿命长，高弹性的纤维增强型FKM隔膜（化学隔膜泵，耐腐蚀的PTFE三明治夹层结构隔膜）;

6.内部气路连接件漏率低，长久运行依然能保持优异的真空性能。

螺杆泵作为前级泵的优势

1.100%无油；

2.无易损件；

3.无磨损；

4.抽速大可达10 m3/h,极限真空低至0.005 mbar；

5.一键启动，长期7×24 h稳定运行，维护成本低，无烦恼。

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鉴定充分肯定了公司的技术研发、制造工艺以及检测能力，公司在科技部02专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”——《磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化》重大专项研制成果基础上，成功研制新一代智能化、一体化的磁悬浮分子泵。经过质询和讨论，鉴定很终鉴定意见为：公司研制的磁悬浮分子泵系列产品为国内首台（套），具有自主知识产权，主要性能指标达到水平，取得了显著的经济及社会效益，建议进一步推广应用。

作为中国真空技术者，公司始终以“创新科学仪器，发展企业”为使命，以电子光学和真空技术，打造科学仪器设备及装备制造国家队，在“十四五”规划的新征程，立足新发展阶段、坚持新发展理念、构建新发展格局，为强化国家战略科技力量、实现科技自立自强做出新的贡献。

操作注意事项不能在前级泵工作时（前级管道接通）和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉，否则将会使油蒸汽迅速从前级管路返流到泵的清洁端。分子泵系统在停机充干燥气体前，一定要先将分子泵冷却水关闭，且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。选择抽气系统前级泵的大小时，应使涡轮分子泵的前级保持在分子流状态下。不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运转。

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