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真空计校准装置如何实现“小尺子”发挥“大作用”?
回顾便携式真空计校准装置的研发历程,为了保证校准装置的灵活使用,以实现在线校准的初心为牵引,真空事业部产品研发人员在前期技术积累基础上,开展集智攻关,突破了众多技术难关。为了满足不同空间、不同环境的灵活使用,要保证“尺子”体积足够小、方便携带。
便携式真空计校准装置技术负责人介绍,真空计一般都是应用在真空环境模拟试验装置上,这些装置可都是“大家伙”,按照传统的计量校准方法,需要将上面使用的各类真空计拆下来送到实验室进行定期校准,不仅增加了拆装的工作量,运输过程中还存在损坏的风险。真空计频繁拆装成了影响试验生产进度的重要因素之一。
为了保证真空计在各类产品的科研试验生产现场中的灵活计量,多年来,真空事业部研发人员在前期技术积累基础上,开展集智攻关,成功研制了便携式真空计校准装置。该装置解决了长期以来真空校准装置笨重无法携带到现场只能在实验室校准的技术难题,实现了真空计在线校准,保证了试验生产任务持续有效进行。
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空检漏的意义?
答:真空系统的极限真空决定于系统的抽速和漏气量,故在抽速一定时,漏气量就决定了真空度,欲使系统达到预定的极限真空,必须通过检漏和堵漏使系统的漏气量控制在允许漏率范围内。从原理上讲,真空检漏可分为哪两大类?答:可以分为:1)压力检漏法,包括①充气检漏法,②卤素检漏法,③氨检漏法。2)真空检漏法,包括①高频火花检漏法,②真空计检漏法,③质谱仪检漏法。
简述真空泵的抽气原理?答:1)利用压缩作用将气体排除到泵外。a.机械周期式膨胀压缩,b.蒸汽流粘滞牵引压缩,c.刚性表面的牵引压缩。2)利用吸附作用将气体束缚于泵内。a.利用电离吸气作用,b.利用物理吸附和化学吸附作用。
真空计,又叫真空规。半导体设备中,不可避免的用到真空计,主要是用来测量某一个腔室或者管道中的压强。
是什麽?能做什么?怎么用?1,是什麽?真空计,字面意思,计量真空度的仪器。2,能做什么?真空计主要用来测量真空,或者叫测量压强大小。腔室里面气体多,压力大,压强大,真空计显示的数值就大;反之,真空计显示的数值小。
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真空计,又叫真空规。半导体设备中,不可避免的用到真空计,主要是用来测量某一个腔室或者管道中的压强。
是什麽?能做什么?怎么用?
1,是什麽?真空计,字面意思,计量真空度的仪器。
2,能做什么?真空计主要用来测量真空,或者叫测量压强大小。腔室里面气体多,压力大,压强大,真空计显示的数值就大;反之,真空计显示的数值小。
3,怎么用?一般就是把真空计的物理接口,KF接口或者是螺纹接口接到腔室上,然后把真空计的电气接口接到电脑或者的显示仪表上。这样就可以测量腔室的真空度,也能看到真空度具体的数值了。
4,注意,真空计是有分类的,有的适合测量低真空,也就是压强大一些的;有的适合测量高真空,也就是压强小一些的。一般常用的是热电偶真空计,皮拉尼真空计,冷阴极真空计,电离真空计。
自己接触过的真空计有电离式,皮拉尼式和冷阴极式真空计。
具体各自的工作原理,大家可以搜一搜,如果需要,我下次补上,一块学习。
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