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DL-10A的校准曲线如下所示：▲DL-10A校准曲线横坐标是中国计量院科学院测量标准值，气样是氮气。纵坐标是DL-10A显示值。DL-10A的下限决定于Z0随时间漂移带来的误差。它主要决定于晶振的结构以及环境温度的变化。PART 02石英真空计性能

●石英真空计的精度较高，用音叉结构的晶振安装在稳定温度的金属柱上，在0.01Pa~105Pa之间测量误差为±10%。在真空计上限附近，即接近大气压经过调整后误差较小可做到3%。随着压强的减小，误差会增大。在真空计的下限误差较大。

▲DL-10A在中国计量科学院校准氮气结果

●石英真空计读数与气体种类有关，不同气体的相对压强读数也不同。下图采用的基准气体为氮气，测量不同气体时，应对该气体进行修正。▲不同气体的压强读数

●环境温度的变化会影响石英真空计的读数，在高压强不会引起很大误差，但在接近下限，会引起很大的误差。这主要体现在晶体的固有阻抗Z0随温度变化。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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.inficon真空计的特性？答：inficon真空计是一种肯定真空计，可以得出被测压力的平方根。但inficon计只有测量被测汽体中汽体的分气体压强，不可以测量在其中可凝气体的气体压强。2.导热真空计的基本原理？根据哪些量的测量来体现导热的转变？

答：导热真空计是根据低电压汽体的导热与工作压力相关这一状况来开展测量的。它可以根据热丝电阻器的变动来体现溫度的转变，进而体现导热的转变，用此类测量方式的真空计称之为传热系数真空计，又称之为皮拉尼真空计。还可以同时用热电阻测量热丝的气温改变来体现导热的转变，称之为热偶真空计。

危害导热真空计测量低值的原因是什么？答：热丝的发热量除开汽体热传导外，还能够顺着热丝自身向两边热传导，即固态热传导；还能够以扩散的方法热传导，这二种换热方法与工作压力不相干，当工作压力较低，汽体的传发热量显著小于固态的换热和幅射热传导时，就不可以体现工作压力的变动了，即做到了测量的低值。

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导热真空计为何易衰老？答：因热丝长期性运行在持续高温下，受汽体功效易空气氧化变窄，或造成热丝自身结晶体结构转变，因而会更改热丝的电阻器，导致零点的飘移，这也是归属于热丝本身的。热丝表层因会吸咐汽体而更改了表层的融入指数，即热交换器的体制，导致敏感度的转变。以上均归属于衰老状况。

危害热阴极水解真空计测量低值的原因是什么？怎样改善？

答：电子器件打进搜集极上造成软X射线辐射源，正离子搜集极消化吸收了软X射线会造成光电材料发送，从而产生的电子器件电流量恰好与正离子电流的方向一致，故累加在一起，但此电流量与工作压力不相干，当工作压力下降到产生的电离电流量显著低于光电流时，搜集极的离子流便不会再随工作压力转变，即抵达测量低值。扩大离子流，减少光电流可以使测量低值的扩展。

什么是电离真空计的外控接线方法？有什么益处？

答：如规管的栅压做为电子器件加快极，而板极做为正离子搜集极，此类接线方法即是外控接线方法。其作用是电子器件在提速中不容易被栅丝捕获，并受钨丝和板极的电位差抵触，可以在钨丝与板极的室内空间，不断越过栅压往返震荡，如此，可显着提升测量的敏感度。

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