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分子泵是氦质谱检漏仪中获得高真空重要部,是氦质谱检漏仪中不可或缺关键部件,分子泵性能直接影响检漏仪性能参数的好坏,分子泵的发展直接影响着氦质谱检漏技术。本文重点讨论分子泵转速对氦质谱检漏的影响。2、逆扩散型检漏仪逆扩散型的检漏仪的检漏口是连接到高真空泵与低真空泵之间,所以被检试件的可检漏压力就是高真泵的前级耐压。如果试件压力超过这个压力,将使高真空泵不能正常工作。普通涡轮分子泵的前级耐压,一般不超过50Pa,远达不到高压检漏的要求。

1980年国际上出现一种称之为“复合型”的分子泵,现今,其前级耐压很高已达2000Pa。这种泵用作氦质谱检漏仪的高真空泵,可直接实现在高的试件压力下的检漏。用复合分子泵构成的一种可实现高压强下的检漏仪,其工作过程如下。当被检试件抽至1500Pa,V1开，氨气逆扩散穿越整个分子泵进入质谱室，实现仪器的逆扩散检漏。

若能进一步将试件抽至200Pa以下，则V2关闭，V3打开，从泵的中间口逆扩散至质谱室，若能进一步将试件抽至40Pa以下，则V3关闭，V4打开，氦气从泵的上部逆扩散进入质谱室，或直接进入质谱室(常规检漏）。这种从高压检大漏到实现检微漏的全自动过程，一气呵成，不仅，也便于漏率的定量，由于每个状态下的阀门流导和泵的压缩比等参数都是固定不变的，仪器只需1次校准即可。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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许多设备在工作时都会产生磁场，比如，家用电冰箱的磁场强度约有10高斯（1mT），MRI（）的磁场强度甚至会高达3T；尽管可以采取屏蔽等措施，仍然可能会有外漏的杂散磁场，对工作在附近的分子泵产生不好的影响。磁场对涡轮分子泵的可能影响当涡轮分子泵的转子在磁场中旋转时，会产生涡流。这些电流倾向于阻碍转子的旋转，并导致电机的功率增大。

由于泵转子不与定子接触，涡生的热量和额外的功率主要通过辐射消散。因此，转子可能会过热，即使泵体及其它静止的部件仍然是冷的。为了确认磁场对分子泵工作的影响，德国卡尔斯鲁厄理工学院（）设计并执行了下面的测试：测试条件和装置被测分子泵的型号为TwisTorr304FSCFF6，使用一对亥姆霍兹线圈(直径120厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。

被测分子泵由一台涡旋干泵作为前级，分子泵的进气口压力抽至1E-3mbar以下（该压力以下，热对流几乎为零，分子泵转子的热量仅可以通过辐射传递出去很小的一部分）。使用20℃的冷却水对分子泵持续进行冷却；分子泵的控制器会自动调整电机电流，保持转子以恒定转速运行。

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除了可以承受更大的气体流量，谱拓系列分子泵还拥有其他TwissTorr分子泵除高压缩比之外的所有特点：

先进的连接选项（RS232、NFC、蓝牙等），可以通过A-Plus软件连接电脑或者通过VacuumLinkAPP用手机进行无线操控

AFS悬浮轴承技术，抗震性好，噪音低

免维护轴承，零运行成本

无油运行，可确保真空系统洁净

体积小巧，可安装在任何位置，有利于轻松集成

防辐射和防磁场设计，无嵌入式电子设备，可在强磁场和辐射环境下运行

低电磁辐射，确保不会干扰工艺制程

我们此前曾发布过几篇文章，讲到使用真空产品如何让企业节约成本、尝到甜头（详情请点击：这里）。今天，我们再给大家介绍一个在节能灯制作中应用分子泵节约成本的案例。

为什么要把替换为分子泵机组？在制造节能灯的企业单位，有相当一部分都采用圆排机自动线，生产，产品质量一致性好。

但是，圆排机一般配置均采用直联式真空泵和谱拓真空泵作为机组，这样便带来了新的问题：①耗电量高；②噪音大；③占用面积大。因此，各照明设备企业和照明生产企业都积极寻找新工艺新方法来进行技改，以求改善这些状况。在这个过程中，公司与上海涌真机械有限公司不谋而合，并与上海正贝照明一起达成共识，用分子泵机组来替代。

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