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由于磁悬浮轴承技术具有无摩擦、率、高精度、长寿命、低噪音、无油污等突出优点，一旦实现产业化，将成为能源、节能减排、真空机械等重大战略领域的技术。       针对这一科技创新成果，在磁悬浮分子泵领域打破国外的技术垄断，提高了国内真空分子泵的技术水平，推动分子泵产品向应用发展，同时也为磁悬浮轴承的工业化进展开拓探索一条技术开发路线，为进一步推广磁悬浮轴承大规模应用提供了实际经验。

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为：  　（1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口，分子泵。  　（2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。  

复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。分子泵牵引分子泵是气体分子与高速转动的转子相碰撞而获得运动的动能，被送到出口的一种动量传输泵。它的特点是起动时间短，在分子流态下有很高的压缩比，能抽除各种气体和蒸汽，特别适于抽除较重的气体。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？原因：防护网，前级管道解决方法：优化系统设计6、真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道？原因：油池或密封不良解决方法：检查油池7、正常使用下，为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形原因：过热，负载大解决措施：检查冷却系，检查系统

分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？原因：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。解决方式：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。9、胶圈口分子泵要用多少卡钳，使用才安全？答：不作特殊限定，至少3个，按照法兰大小可选3、6、12、24等。

、变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱？答：①电压不稳②强干扰③高压打火④认为11、分子泵噪音大如何界定？是否有合格标准，是多少？答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要仪器和特定的测试环境12、分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？答：注意水温和水流量，冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。

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用技术加持的涡轮分子泵可以满足更为苛刻的工作环境要求，尤其是在需要更低振动和静音的应用中，该系列涡轮分子泵可以大大提升用户体验。采用这项技术的相关真空泵非常适合用于质谱分析、电子显微术、检漏仪和残余气体分析系统等对振动敏感的应用。以电子显微镜为例：由于高真空法兰的振动很强烈（~20nm），导致高倍率下的图像模糊不清；而集成了这款涡轮分子泵之后，振动变得更低（~5nm），使电子显微镜能够获得更高分辨率的图像。

电子显微镜的两幅图像对比：配备了涡轮分子泵（右）比未配备涡轮分子泵（左）时的图像要更清晰

高度可靠的新型涡轮分子泵

除了应用更先进的技术之外，也承袭了真空涡轮分子泵安全、耐用、抗老化、重量轻、体积小巧等一系列优点。

·在控温方面，涡轮分子泵配备集成传感器，集成的转子温度测量功能可确保始终发挥很佳性能，保障其很高运行安全性。

·在轴承方面，的混合轴承由两部分组成：前级真空侧运用耐温高、转速高且寿命长的油润滑式陶瓷球轴承，而高真空侧则使用灵活、抗压强的永磁径向轴承。坚固耐用的轴承材料让系列涡轮分子泵具备更高可靠性。

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