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与传统现场总线相比,它们具有数据传输速率极高、接入设备显著更多的优点,因而能够帮助企业加速实现工业4.0目标。ProfiNet和EtherCat接口此外,除了此前采用模拟输出的版本,现还配有电容式真空规CCT。该真空计拥有不受气体种类影响和测量精度高的优势,并可用于镀膜过程的准确过程控制、冷冻干燥或校准实验室。电容式真空规CCT可靠的陶瓷技术元件具有优良的化学耐性和极低的零点偏差。



目前,有温度补偿型和45℃加热型两种规格可选择。电容式真空规CCT真空系统或者真空泵调试时经常需要查看真空泵的真空度,每个调试工程师都希望有一款便携小巧并且皮实耐用的真空计。为满足这种需求,inficon发布了一款便携式的真空计套装HGC-536。目前正限促销,含税5000元套。套装包括:万用表大小的手持式控制器,通过可伸缩软线连接的真空规管,还有方便携带的迷你手提箱。



小巧又功能强大的手持式控制器该套装的控制器采用MicroUSB充电线和5号电池双电源供电,用电池供电时可以显示剩余电量,还可以设置自动关闭时间来节省电量,带背光的LED显示屏让真空读数在阳光下和漆黑的环境中都清晰可见。

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单侧电极inficon电容薄膜真空规管结构图郭占社等提出了基于峰值检测的微电容测量法,该方法可用于检测inficon设备上的单一电容变化量。电路采用实时峰值检测技术,只检测待测电容的变化量。 首先正弦载波信号及微分电路对inficon器件输出的电容量进行载波调制,然后通过减法电路得到幅值与电容变化量成比例的正弦信号, 很后用峰值检测方法对信号进行解调,得到直流输出。测试结果表明,该测量电路具有良好的线性,测量精度可以达到2%,灵敏度可以达到3.6V/pF。但该电路不易于小型化集成。



图2基于峰值检测的微电容测量电路框图Wang等设计了一种具有宽温度范围的基于CMOS的微电容测量电路。 电路采用相关双采样方法,Vref为输入参考电压,时钟信号Φ1、Φ2通过控制开关控制电容的充放电从而完成对敏感电容的测量。保持电容Ch1、Ch2用来存储和消除低频噪声及运算放大器的偏置电压。



电路采用结构简单、性能稳定的二阶Σ-Δ调制器来实现高的分辨率,其中电容C3=2C4。测量过程分为两个阶段,当信号Cal置“0”时,电路处于正常工作状态,输出为y;当信号Cal置“1”时,电路处于校准状态,C1和C2位置互换,此时输出为y′。两种状态下的输出信号都包含由时钟反馈回路、电荷注入效应、开关漏电流等产生的噪声,两者相减即可消除这些噪声。

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inficon技术:(1)从微机电系统(inficon)发展到纳机电系统(NEMS)的启示;(2)inficon加速度计、陀螺仪及组合式惯性传感器技术及应用;(3)光学传感器和气体传感器技术及应用;(4)inficon谐振器和振荡器技术及应用;(5)inficon制造工艺;(6)inficon封装技术;(7)inficon产线参观学习:苏州inficon中试平台和捷研芯量产封装产线。 



上世纪50年代,D.J.Pacey研究用石英晶振测量气体压强。他采用双三级管(电子管)做电路,其一侧与晶振构成Pierce-Miller振荡器,晶振置于被测气体中作压强传感器。当气体压强变化时,阳极电流也随之变化。据称该仪器可测105Pa到13.3Pa的压强。



到了20世纪80年代,M.Ono等人设计了测量范围从1.33Pa到大于105Pa的石英真空计。所用晶振为音叉结构,长2.66mm,宽0.3mm,厚0.13mm,谐振频率为32768Hz。仪器采用位相锁定环路,(phaselookedloop)使振荡电路的频率与晶振的谐振频率保持一致。为了进一步减小下限,经过对石英晶振结构的研究,选用10mm长的晶振做成0.133Pa~105Pa测量范围的真空计。


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