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分子真空泵是在 1911 年由德国人盖德  首先发明的，并阐述了分子泵的抽气理论，分子泵，使机械真空泵在抽气机理上有了新的突破。 　　 　　分子泵的抽气机理与容积式机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同，分子泵是在分子流区域内靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量，使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的。

　通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象。因此，人们将盖德发明的分子泵称为牵引分子泵。分子泵公司主要提供各品牌分子泵电源，真空计，真空显示器，氦气检测仪，质谱仪的维修、保养、销售等服务。分子泵分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。

这种泵具体可分为：  　（1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。

　（2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。

（3)复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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实验与分析氦质谱检漏仪工作在不同的分子泵转速下，在仪器的检漏口连接标漏信号，检测氦质谱检漏仪在不同分子泵转速下，所获得的信号值。

实验器材：

(1)氦质谱检漏仪SFJ-231,1台；

(2)渗氦型标准漏孔（3.0×10-10Pa.m3/s),1只；

(3)渗氦型标准漏孔（1.5×10-Pa.m/s),1只；

(4)标准漏孔TL4-6,1只。

实验步骤：

(1)开启氦质谱检漏仪；

(2)仪器进入检漏状态运行2h后；

(3)仪器按下停止键，仪器进入待机状态(4)进入仪器的参数设置，将分子泵的转速设定为1500Hz；

(5)待仪器进入待机状态

(6)将渗氦型标准漏孔(3.0×100Pa.mYs)连接在检漏口；

(7)检漏仪按开始键，检测仪器的显示值，并记录；

(8)仪器按下停止键后按下开始键，再次检测仪器的显示值，共记录3次数据(9)仪器在待机状态，进入仪器的参数设置，将分子泵的转速设定为1000Hz；

(10)重复7、8步骤；

(11)进入仪器的参数设置，将分子泵的转速设定为1500Hz；

(12)在仪器检漏口连接渗氦型标准漏孔(1.5X10*Pa.ms)1只；

(13)重复7、8、9、10步骤(14)进入仪器的参数设置，将分子泵的转速设定为1500Hz；

(15)在仪器检漏口连接标准漏孔TL4-6(16)重复7、8、9、10步骤。

(16)重复7、8、9、10步骤。

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分子泵转速对氦质谱检漏仪的灵敏度有什么影响？

今天，小编将向大家介绍分子泵转速对氦质谱检漏仪的灵敏度有什么影响，希望对大家有所帮助。分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种泵。分子泵是获得高和超高的关键设备之一。

它被广泛应用于电子工业、表面工程、核能工业、等离子体技术、薄膜工程等工业领域和研究部门。它操作简单、启动时间短,在分子流区域内对各种气体的有效抽速几乎不变,对分子量高的气体压缩比高,可以获得清洁无油的高和超高环境。

分子泵是氦质谱检漏仪中获得高重要部位,是氦质谱检漏仪中不可或缺关键部件,分子泵性能直接影响检漏仪性能参数的好坏,分子泵的发展直接影响着氦质谱检漏技术。逆扩散型的检漏仪的检漏口是连接到高泵与低泵之间,所以被检试件的可检漏压力就是高真泵的前级耐压。如果试件压力超过这个压力,将使高泵不能正常工作。普通涡轮分子泵的前级耐压,一般不超过50Pa,远达不到高压检漏的要求。

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