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压缩比通常是指泵的排气压力与进气压力的比值. 对于涡轮分子泵来说, 压缩比是指在前真空法兰测量的压力与在高真空法兰测量的压力之比。压缩比的高低取决于几个因素, *重要的因素是气体的类型和涡轮分子泵的设计. 压缩比越高, 在分子泵进气口得到的*终压力就越低, 也就是分子泵的极限压力越低.

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分子泵直接清洗的方法如下： 1．关掉分子泵，进行排气。 2．从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。 3．拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等 4．拆掉润滑的油包 5．将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。 6．往容器中用人无水酒精，高度以前级真空接口略低为宜.

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岛津EI-D2003M磁悬浮分子泵驱动器可以控制的分子泵Shimadzu TMP-2003M/MC、TMP-2003LM/LMC等

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分子泵如在阴冷潮湿的环境或抽除弱酸气体的环境使用，停机前抽入一定量的干燥空气；如遇突然停水，停水以后应即刻停泵，否则泵会因过热而卡死或烧毁电机等；泵工作时不要频繁起停，这样会影响泵的寿命。