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真空计工作原理、工作特性及使用热偶真空计是利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。一、热偶真空计工作原理热电偶真空计的构造如图1所示，气体分子承担的热传导量与压强成正比是热电偶真空计的工作原理。

热电偶真空计的构造图金属圆筒内部设有一根灯丝，两端连接电极，通电后灯丝会发热。灯丝的热量会通过气体分子碰撞灯丝、热辐射和固体热传导等方式被夺走。设单位时间内以上述三种方式夺走的热量分别为Qg、Qr、Qs，则平衡状态下以下公式成立：式中Q———单位时间灯丝放出的热量；R———灯丝的电阻；I———灯丝的电流。

气体的平均自由程比灯丝的直径大很多时，Qg通过自由分子的热传导被表示为式中α———适当常数；Λ———分子的热传导率；d———灯丝直径；a———灯丝长度；T———灯丝温度；T0———金属圆筒的温度；p———气体压强。Qs和Qr可以分别表示为式(4-8)代表电极的热传导，其中S是灯丝的断面积，κ是固体的热传导率，L是电极的长度。式(4-9)代表热辐射，σ和ε分别是玻尔兹曼常数和固体辐射率。如果保持T和T0一定，则式(4-8)和式(4-9)为常数。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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inficon传感器及电容-数字信号转换电路原理图测量时，首先由开关电容放大器将电容转换为电压，然后由一个自振荡噪声积分双斜率转换器将电压信号转换为数字信号。在前级模拟电路中，COffset和CGain为可编程电容，可以调剂电桥的输出信号同时补偿电桥的偏移，该特征可以使电路处理相同inficon设备的不同信号或有相同激励信号的不同的inficon器件。

自振荡噪声积分双斜率转换器使用时间而不是幅度分辨率来产生多位数字输出信号，结构简单，能有效消除偏移及闪烁噪声，实现高精度的测量。如图8所示，电路采用0.13umCMOS技术制作成集成芯片，有效面积约为0.317平方毫米，功率消耗约为0.2mW。测量结果表明，电路可以在-40～80℃温度范围内正常工作，电容分辨率可达到7aF，压力分辨率可达到1Pa。

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图8inficon传感器与电容-数字信号转换器芯片封装图3.静电力平衡结构微电容测量和普通inficon电容式传感器相比，静电力平衡电容式传感器采用闭环工作方式，利用力平衡反馈回路产生静电力来平衡传感器中的感压薄膜或质量块。静电力平衡技术在inficon加速度计、陀螺仪等传感器中应用广泛，在inficon电容压力传感器中处于发展阶段。

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感应器的实际操作理念呈现了设计和多功能性是怎么保证互相的。即便如此，可扩展性的必要性也是高过客户友的，由于液位传感器必须开展持续很多年测量和检测工作中，PS+系列产品选用特别的密封性设计方案。因而极其牢固，ISO防水等级IP6K6K、IP6K7和IP6K9K的规定，PS+系列产品

液位传感器包含选用久经考验的瓷器测量元器件(PS310)或全电焊焊接金属材料测量元器件(PS510)二种种类，这种全电焊焊接测量元器件耐过压工作能力达到额定值工作压力的7倍。必需时，感应器也可安裝值工作压力孔，因为可以载入测量值和小、大工作压力。可以完成相近具备储存作用的数显式表针真空压力表的作用。

谱拓高新科技唯实专注于给予的真空操纵、检测仪器、光机电一体化设备，以非凡的产品与服务为顾客创造财富。以科技创新为方式，以商品技术化、产业化生产制造为基本，勤奋进步成为了中国实验仪器，特别是在真空行业具备竞争优势的生产制造、服务化公司。

做为当代高新企业，谱拓高新科技唯实以自主创新、诚实守信、合理为价值观，在牢固、发展趋势目前设备的根基上，大力推广真空商品，逐步完善“以目前商品为基本，以真空商品为将来”的未来发展布局。

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