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莱宝Leybold turbovac MAG W 3200涡轮分子泵
TURBOVAC MAG W 3200 C/CT常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业,涡轮分子泵用于以下应用场合:- 蚀刻;- 溅射;- 离子注入;- CVD;- 光刻。这些应用中,经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵,以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻,涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象, 选用带温度控制的扩展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG 3200可以防止这种情况。与机械轴承涡轮分子泵相比,磁悬浮泵的优势在于气体流量较大时可以防止轴承过热,能够有效地防止腐蚀性介质对磁悬浮轴承的损坏。
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Leybold TW250涡轮分子泵,莱宝二手分子泵维修保养
leybold TW250 Leybold TW250大量应用于光盘生产线和小型镀膜生产线,复合型转子,
对前置真空要求较低,转速51600rpm .
广州潽拓光电科技有限公司维修Leybold全系列分子泵,
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莱宝真空的分子泵均不采用油润滑轴承可以从理论上完全避免分子泵对腔体产生碳氢化合物污染并且保证所有分子泵均可以任意角度安装。
TURBOVAC i/iX产品线的优势是:款无油半磁浮分子泵、模块化设计、抽速大,压比高、免维护、清洁无油
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