潽拓——{精},分子泵
广州潽拓,EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一,EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧,增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和 安装成本,如果需要也可远程使用。
受zhuanli保护的独特泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑,这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂,并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10),通常 每 5 年维修一次,zui大程度地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A),可在洁净室内实现低噪声。
潽拓——Edwards分子泵机组,分子泵
爱德华 Edwards ext200/200/30 Agilent 80c真空分子泵,二手分子泵维修
dwards EXT200/200/30 Turbo Pump 对应Agilent Code: 8756-10-100,
Edwards EXT200/200/30 具备三个抽气口,分别对应200L/s, 200L/s及30L/s
一台真空分子泵可以为安捷伦质谱仪提供三个高真空
潽拓——Edwards分子泵机组,分子泵
维修二手爱德华 BOC Edwards g2589-80062
广州潽拓光电从事机电自动化,光电存储媒体,半导体,,太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修,销售,设计,开发及系统工程,软件开发,leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等分子泵,真空泵,真空计维修保养/销售等业务。我们始终致力于提供创新的真空泵和尾气处理系统的解决方案,应用于各种行业,从实验室到需求多的半导体和工业行业,以及新兴的太阳能和生物柴油行业。
广州潽拓主要维修各型号分子泵,真空计,干泵,油泵,等维修工作。