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涡轮分子泵系统软件实际操作常见问题及常见问题清除：(1)不可以在前面泵工作中时（前面管路接入）和真空系统处在真空泵情况时将涡轮分子泵停用，不然可能使油蒸气快速过去级管道反流到泵的清理端。

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分子泵出现机封渗油

故障剖析：机封毁坏；密封性旋盖未铺平；装配线部位不对。

解决方法：拆换机封；调节密封性旋盖；再次按技术标准装配线。