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由于涡轮分子泵是高速旋转的机械，因此轴承是涡轮分子泵的关键部件。涡轮分子泵的轴承有如下几种：

1、油润滑轴承

2、油脂润滑轴承

3、气膜轴承

4、磁悬浮轴承

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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分子泵出现机封渗油

故障剖析：机封毁坏；密封性旋盖未铺平；装配线部位不对。

解决方法：拆换机封；调节密封性旋盖；再次按技术标准装配线。

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Shimadzu岛津TMP-203M/MC磁悬浮分子泵对应的控制器为：Shimadzu EI-D203M

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Shimadzu岛津TMP-203M/MC真空泵维修一般流程：

试机---确定问题点---拆泵---报价---维修及更换零件---调试安装---试机---客户验收