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特性：

1、为薄膜沉积应用而专门设计的分子泵解决方案

2、极快的抽速和高气体通量

3、耐用型的设计和运行的冷却系统，可实现连续运行

4、能够保护轴承的气体吹扫

5、机架式 Navigator 控制器的样品架类型

6、通用电子器件接口和操作简单的控制软件

7、模拟 I/O 信号和 RS232/RS485 接口（为标准Agilent Profibus 接口选项）

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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分子泵输送气体应满足二个必要条件：1). 涡轮分子泵必须在分子流状态下工作。2). 分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度

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分子泵的冷却方式有三种：自然冷却、强制风冷和水冷。300 l/s 以下的分子泵，在没有气体负载的情况下，可以采用自然冷却；较大的分子泵或者有一定的气体负载时，需要选择强制风冷（风扇冷却）；对于有些负载很大的应用（比如CVD），或者不方便使用风扇的环境（如辐射环境），需要采取水冷。