广州潽拓光电科技有限公司——大阪分子泵TG5003维修

大阪涡轮（复合）分子泵:

仕　様型　号FR060D单相200V规格三相200V规格排气速度大1,000 L/min开放运转时800 L/min到達圧力通常1.0 Pa气镇时2.0 Pa极限压力大气压大水蒸气处理量※1500 g/hr连接形式吸气口KF（NW）40排气口KF（NW）40消费电力到达1.1 kW大1.3 kW电流11.1 A6.5 A润滑油量90 mL重量75kg电源电压50/60Hz単相, 200-240 V三相, 200-240 V容许电压变动※2±10%电源容量3.0 kVACP容量16A15A短路电流定额值（SCCR）1.0 kA控制型号D-sub 15Pin冷却方式空冷环境温度5-40℃※1 表示的是使用气镇时的处理量。※2 关于特殊规格，另行通知。

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大阪涡轮（复合）分子泵:前级配置

此类泵包括油扩散泵、油扩散喷射泵以及增扩泵等。在主泵允许的大排气口压力下，前级泵需将主泵产生的大气体量及时抽走，即前级泵的有效抽速必须满足：

Sq> pg .S/ pn或Qmax /pn

式中,Sq——前级泵的有效抽速，L/s，和选择高真空泵一样，先由Sq来确定前级泵的抽速，然后再根据该抽速选定泵型；

pn ——主泵前级的临界前级压力，Pa;

Qmax ——所能排出的大气体量，Pa .L/s;

pg ——主泵允许的高工作压力，Pa;

S——主泵工作在pg时的有效抽速，L/s。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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复合分子泵 它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。其应用领域包括分析、半导体工业、光学、玻璃工业、涂层技术、真空冶炼、检漏技术、科研设备、照明用具行业等

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任何真空泵都有不足之处，涡轮分子泵也不例外。那么涡轮分子泵它的缺点：(1) 设备费用高；(2) 对颗粒物或沉积物敏感；(3) 噪音与振动；(4) 破碎问题；(5) 暴露大气易引起事故