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大阪真空的涡轮分子泵(复合分子泵)的主要特点：

●无油的超真空环境

●机械式的气体分子排气(动态排气),对所有的气体的排气速度大致相同

●可排稀有气体和腐蚀性气体

●可连续排大流量气体

●可工作的压力范围(～10-10Pa)

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。

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任何真空泵都有不足之处，涡轮分子泵也不例外。那么涡轮分子泵它的缺点：(1) 设备费用高；(2) 对颗粒物或沉积物敏感；(3) 噪音与振动；(4) 破碎问题；(5) 暴露大气易引起事故