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分子泵工作条件

转子转速达到20000r/min，故分子泵启动时间较长。

气体处于分子流状态，故需要配备前级泵，一般使用旋片泵作为前级泵。

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涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子（即动叶轮）、静叶轮和驱动系统等组成。

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分子泵直接清洗的方法如下： 1．关掉分子泵，进行排气。 2．从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。 3．拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等 4．拆掉润滑的油包 5．将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。 6．往容器中用人无水酒精，高度以前级真空接口略低为宜.