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分子泵系统在停机充干燥气体前，一定要先将分子泵冷却水关闭，且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。

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五轴磁悬浮分子泵分子泵维修，请务必确认维修厂家有无如下设备及备件：氦质谱检漏仪：是用来测试分子泵有无渗漏的，五轴磁悬浮分子泵维修后，因真空密封及接口较多，很容易有轻微渗漏而导致您镀膜线腔体中真空度差，又直接导致镀膜质量差。

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分子泵换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。一般新真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长换油期限。