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真空计的校准

如今，真空在我们日常生活中被广泛应用于产品的生产及制造，并且扮演着重要角色。例如：在科研，工业流程，手机芯片，硬盘，太阳能电池，塑料干燥或者食品真空包装等领域。在当今的生产活动中，我们对真空度测量的性、标准化、可靠性和重复性的要求是至关重要的。当我们在进行测量的时候，高精度又是关键中的关键：

精度的高低会直接影响产品的生产质量，科学实验的准确性和设备使用的可靠性。要确保真空计使用时的高可靠性，就必须经常对它进行校准或标定。而根据每个不同应用的具体要求，这些校准工作必须符合国内或相关的。经济、有效果的国际化的机构校准及标定替代解决方案；生产活动中，真空计往往需要对外机构进行校准和标定。

然而在对量大或校准间隔要求短的条件下，使用经济的测量仪器进行现场校准能大大节约时间和费用。inficon真空紧凑型的校准泵组就能够组建起这样一个系统。谱拓（）认为这个易于使用的便携式系统是专为同时在线进行多个仪器检测而量身定做的。其系统具有使用便捷、快速及符合人体工学标准的特点。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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与传统现场总线相比，它们具有数据传输速率极高、接入设备显著更多的优点，因而能够帮助企业加速实现工业4.0目标。ProfiNet和EtherCat接口此外，除了此前采用模拟输出的版本，现还配有电容式真空规CCT。该真空计拥有不受气体种类影响和测量精度高的优势，并可用于镀膜过程的准确过程控制、冷冻干燥或校准实验室。电容式真空规CCT可靠的陶瓷技术元件具有优良的化学耐性和极低的零点偏差。

目前，有温度补偿型和45℃加热型两种规格可选择。电容式真空规CCT真空系统或者真空泵调试时经常需要查看真空泵的真空度，每个调试工程师都希望有一款便携小巧并且皮实耐用的真空计。为满足这种需求，inficon发布了一款便携式的真空计套装HGC-536。目前正限促销，含税5000元套。套装包括：万用表大小的手持式控制器，通过可伸缩软线连接的真空规管，还有方便携带的迷你手提箱。

小巧又功能强大的手持式控制器该套装的控制器采用MicroUSB充电线和5号电池双电源供电，用电池供电时可以显示剩余电量，还可以设置自动关闭时间来节省电量，带背光的LED显示屏让真空读数在阳光下和漆黑的环境中都清晰可见。

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电路主要由开关电容电荷放大器和一阶Σ-Δ调制器组成，利用0.25umCMOS技术制作成集成芯片，芯片有效面积约为2平方毫米，供电电压2.5V，功耗约为6mW。电路的灵敏度可以达到2.5V/pF，分辨率可达到4aF。为满足不同应用的需求，PérezSanjurjo等设计了一种适用于inficon电容式传感器的电容-数字信号转换电路。

可编程放大器提供了多个增益，使得电路可以根据信号的输入强度及要求来选择合适增益。可调方波时钟发生器为传感器提供激励信号，同时为解调器提供时钟信号，这种可调性可以抑制传感器的结构变化以及封装给电路的影响。另外，该电路中采用了片上电容阵列，可以抵消差动结构电容的失配导致的不平衡。

差动式可调谐微电容测量电路原理图电路集成芯片采用0.13umCMOS技术制造，供电电压为1.8V，能耗约为10mW。测试结果表明，电路能够测量inficon电容式传感器中的飞法级别的电容变化，灵敏度可达到0.3mV/fF，通过调节相关参数，灵敏度可达到1mV/fF。Awmini等设计了一种开关电容电路来测量具有差动敏感电容结构的inficon设备的微小电容变化。

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