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AGILENT Turbo-V 1K-G分子泵维修,安捷伦Turbo-V 1K-G分子泵保养
特点:
Turbo-V 1K-G 不仅是一台泵。该装置是专门为薄膜沉积设备精心设计的分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化,可以在高流速的气氛围下和温度极高的环境中工作。另外,可通过远程机架控制器或泵机一体式控制器来驱动泵。所有这些特点使安捷伦 Turbo-V 1K-G 成为了镀膜工业的真空解决方案。
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Varian Turbo-V 70又称为Varian TV70,是意大利瓦里安早期的高速小型分子泵,转速为75000转,其细分为:Varian Turbo-V 70D (Varian TV70D), Varian Turbo-V70LP( Varian TV70LP)。
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瓦里安分子泵几乎涵盖了所有可能的应用领域,特有的机电一体化的设计,具有前级耐压高的特性,适用于10-10-10毫巴的真空环境。主要具有以下显著优点:
-应用范围广
-macrotorr技术
-整体加工的转子
-高可靠性,免维护的陶瓷轴承
-内置控制器可用采用导航控制
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分子泵输送气体应满足二个必要条件:1). 涡轮分子泵必须在分子流状态下工作。2). 分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度
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