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热传导真空计的原理？通过什么量的测量来反映热传导的变化？

答：热传导真空计是依据低压气体的热传导与压力有关这一现象来进行测量的。它可以通过热丝电阻的变化来反映温度的变化，从而反映热传导的变化，用此种测量方法的真空计称为热阻真空计，又称为皮拉尼真空计。也可以直接用热电偶测量热丝的温度变化来反映热传导的变化，称为热偶真空计。

影响热传导真空计测量下限的原因是什么？

答：热丝的热量除了气体传热外，还可以沿着热丝本身向两端传热，即固体传热；还可以以辐射的方式传热，这两种传热方式与压力无关，当压力较低，气体的传热量明显低于固体的传热和辐射传热时，就不能反映压力的变化了，即达到了测量的下限。

热传导真空计为什么易老化？

答：因热丝长期工作在高温下，受气体作用易氧化变细，或导致热丝本身结晶构造变化，因此会改变热丝的电阻，造成零点的漂移，这是属于热丝本体的。热丝表面因会吸附气体而改变了表面的适应系数，即热交换的机制，造成灵敏度的变化。以上均属于老化现象。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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国内在90年代也有人研制了石英真空计，所用电路是以晶振本身为频率控制元件的自振荡，自跟踪电路。测量范围为0.1Pa~2×105Pa。 很近我们研制的DL-10A型石英真空计采用FC135晶振，测量范围为5×10-1~105Pa。目前已有石英真空计产品，

例如：CC-10真空计测量范围是1.33×10-2Pa到大气压，M-320XG晶振真空计测量范围是1X10-1Pa到大气压，DL-10A型石英真空计测量范围是5X10-1Pa到大气压。其优点为：传感器体积小，耗电功率小（约1W），精度较高（约10%），量程较宽（10-1~105Pa）等。

PART 01工作原理

石英晶振在谐振时，其谐振频率或谐振阻抗均与周围气体压强有关，二者均可用来测量压强。用谐振频率与压强有关的特性做真空计精度高，但测量范围较窄，它可以用作标准真空计或应用于要求精度高的真空测量领域。用谐振阻抗与压强有关的真空计测量范围较宽，可达0.1-105Pa，适合做工作用真空计。晶振在谐振时，同时自身也存在机械振动，振动时将受气体阻力，阻力的大小与气体压强有关，因而晶振的电学阻抗也与气体压强有关。

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分子泵的基本原理由是使用汽体分子结构和快速活动的电机转子相互之间撞击而将空气分子结构带出系统软件外。汽体分子结构撞击到定子的表层反跳后，可能在其原先的热分子结构速率以外得到一部分与电机转子表层健身运动方位平行面的附加速率。为了防止分子结构间的影响而使健身运动速率降低，真空磁导率的间距一定超过叶面间的间距。就要一个前面泵联接在分子泵的上下游以保证分子泵内颗粒相对密度充足的小。

inficon真空涡轮增压分子泵优异的主要表现是由于：

■汽体缩小高，气总流量大

■前面工作压力高

■集成式推动模块和制冷系统

■高抽速：10-2,000l/s

气动隔膜泵由传动系统一部分和膈膜缸头两绝大多数构成。根据旁通阀把汽体引进腔室随后传送到出阀门排出来汽体。

在这里运用标准下，泵的很终工作压力可达70hPa，抽速很高可贴近10m3/h。

inficon真空气动隔膜泵的优点：

■干泵隔膜真空泵

■脉冲阻尼器坚固耐用

■振动低，噪声轻

■高可靠性

■便于维护保养

inficon真空的校准泵组广泛运用于各种各样生产过程中，并给予靠谱和的真空度测量。

inficon真空校准泵组品牌优势一览：

■比外界校准价格便宜

■合乎中国和国际性的规范

■携带式线上校准

■可几台机器设备同歩校准

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