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如果用I20R表示一定量的固体热传导和热辐射，则式(4-6)可以表示为I0是灯丝的电流，不断弥补固体热传导和热辐射而带来的热量损失。A是不依存压强的常数。如果已知灯丝的电阻R、电流I0及常数A，则可以通过式(4-10)求得压强p。热电偶真空计的压强测量范围在0.1～300Pa，具有以下优点：(1)结构简单、容易制造、容易操作；

工作温度、工作电压较低；(3)所测读数为全压强，并且能够实现远距离的连续测量。但是，热电偶真空计具有受温度影响大、读数时间滞后、读数因气体种类而异、读数需要校准等缺点。热偶真空计工作特性   热偶真空计是相对真空计，其压力-热偶电势对应值难以用计算方法准确求得，因此，常常在标准环境条件下，用真空计或用校准系统经校准确定。

在一定的加热电流条件下，配用DL-3型规管的热偶真空计对干燥空气的校准曲线如图4-9和图4-10所示。图4-9DL-3型热偶真空计的校准曲线(10～10-1Pa)图4-10DL-3型热偶真空计的校准曲线(102～10Pa)由图4-10不难看出，当压力从0.1MPa开始逐步降低(图中未画出)的一段压力范围内，热偶电势E一直在零值附近，其原因是气体分子多，传导走的热量多，因而热丝温度低，热偶电势E亦低，而且此时(λ≤r1)热传导与压力无关，故热偶电势E不变化(少量变化是气体对流引起的)。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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每一个调试工程师都期待有一款便携式精巧而且结实耐用的真空计。为达到这类要求，谱拓公布了一款携带式的真空计套服inficon。现阶段正限营销，价税合计5000元套。套服包含：数字万用表尺寸的便携式控制板，根据可伸缩式铜线联接的真空泵规管，也有便捷带上的迷你型行里箱。

精巧又功能齐全的便携式控制板该套服的控制板选用MicroUSB数据线和5号充电电池双电源开关配电，用电瓶配电时可以表明所剩用电量，还能够设定全自动关掉時间来节约用电量，带背光的LED显示器让真空泵读值在太阳底下和黑暗的条件里都清楚可见。

inficon可以设定Pa,kPa,mbar,Torr,mTorr等11种压力单位，还能够挑选 当然记数或是科学记数法来表明读值。假如你设定一个警报值，它可以在机械泵抽中某一真空值时得出响声提醒，那样就不需要一直盯住真空泵读值了。有工作经验的技术人员通常可以根据剖析压升或是损耗的线条来分辨系统软件是不是泄露或是分辨常见故障的缘故，inficon控制板可以纪录并表明工作压力曲线图，而且可以依据工作压力的变动立即表明即时的情况：

抽真空（Pump），工作压力在持续降低

平稳（Stable），工作压力不变

放气（Outgas），工作压力在持续升高，但压升率愈来愈小

泄露（Leak），工作压力在持续升高，但压升率沒有显著的转变

控制板的身后带可收拢的支撑架，可以斜着立在桌面；也有磁石，可以黏住管路，声卡机架，乃至泵的身上。联接规管的螺旋式铜线便捷收纳整理，较长可以拖到2米高。绵软的塑胶保护壳使控制板握感舒服，又耐磨损耐摔。

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真空计，又叫真空规。

半导体行业中，难以避免的使用真空计，主要是用于测量某一个腔室或是管路中的气体压强。

是什麽？能干什么？如何使用？

1，是什麽？真空计，字面意思，计量检定真空度的仪器设备。

2，能干什么？真空计关键用于测量真空，或是叫测量气体压强尺寸。腔室里边汽体多，压力大，气体压强大，真空计表明的标值就大；相反，真空计表明的标值小。

3，如何使用？一般便是把真空计的物理性插口，KF接口或是是外螺纹插口收到腔室上，随后把真空计的电气设备插口收到电脑上或是型的数显仪表上。那样就可以测量腔室的真空度，也可以见到真空度实际的数据了。

真空计的种类及基本原理

真空计（VacuumGauge）,又被称为真空规，是测量真空度或标准气压的仪器设备。一般利用不一样标准气压下的某类物理学效用的变动开展标准气压的测量。在科学研究和工业制造中普遍应用。依照真空计测量基本原理所利用的差异的物理学体制，可将具体的真空计分成三大类，分别是利用物理性能，利用汽体动力学模型和利用自由电子作用的真空计。

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