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分子泵油池安装注意事项①、拆油②、油量控制③、油池卫生，防颗粒④、对好、对称上紧螺钉，防止有漏

3进出口法兰、冷却水安装①、泵入口：对正、对称拧紧②、泵出口：防止错位③、冷却水：无漏水；入口水压0.2MPa；水温20±５℃；水质澄清无沉淀注意：环境温度：风冷需小于32℃;水冷可至40℃入口压强：强制风冷

电缆安装注意事项①、对正槽口插入②、用螺母拧紧，边插边拧③、检查到位

5振动隔离、冲击防护

1分子泵振动，可直接接于被抽系统。对于高精密仪器的应用（如电子显微镜），建议使用隔振器，以便很大可能的减少振动。2冲击防护：高速旋转、间隙很小、柔性支撑机械振动（预抽泵、前级泵、机械动作等）

气体振动（气量突变、压强突变）

意外振动（掉入异物、碰撞等）注意：没有对泵进行必要防护，容易造成分子泵严重的破坏、甚至碎泵。

6大气载、热气体、突变气载

a引起问题：温度升高；动静片变形；转子上移；润滑失效5℃原则；轴承失效b.措施：加大水冷；增加冷却装置；缩短换油时间

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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除了可以承受更大的气体流量，谱拓系列分子泵还拥有其他TwissTorr分子泵除高压缩比之外的所有特点：

先进的连接选项（RS232、NFC、蓝牙等），可以通过A-Plus软件连接电脑或者通过VacuumLinkAPP用手机进行无线操控

AFS悬浮轴承技术，抗震性好，噪音低

免维护轴承，零运行成本

无油运行，可确保真空系统洁净

体积小巧，可安装在任何位置，有利于轻松集成

防辐射和防磁场设计，无嵌入式电子设备，可在强磁场和辐射环境下运行

低电磁辐射，确保不会干扰工艺制程

我们此前曾发布过几篇文章，讲到使用真空产品如何让企业节约成本、尝到甜头（详情请点击：这里）。今天，我们再给大家介绍一个在节能灯制作中应用分子泵节约成本的案例。

为什么要把替换为分子泵机组？在制造节能灯的企业单位，有相当一部分都采用圆排机自动线，生产，产品质量一致性好。

但是，圆排机一般配置均采用直联式真空泵和谱拓真空泵作为机组，这样便带来了新的问题：①耗电量高；②噪音大；③占用面积大。因此，各照明设备企业和照明生产企业都积极寻找新工艺新方法来进行技改，以求改善这些状况。在这个过程中，公司与上海涌真机械有限公司不谋而合，并与上海正贝照明一起达成共识，用分子泵机组来替代。

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噪音测试通过在以下12种不同运行状态和方向下对一批泵进行一系列测试，来验证泵噪音：垂直、水平和翻转位置；高温和低温；全速和低速。在正常运行状态下，168次测量得到的平均噪音为41dB(A)+/-3σ。包装测试通过对带包装的泵进行测试来验证包装性能，在测试时，使带包装的泵从96厘米/37.8英寸的高度以各种角度跌落18次。确保在运输过程中不会因跌落或运输而损坏。

无论从科技或是经济发展的角度来看，重要性都是不言而喻的。5G、人工智能、大数据、物联网等新兴技术的发展源源不断地给半导体行业注入崭新活力。真空技术作为一门与应用科学紧密结合的现代基础科学，在半导体行业有着广泛的应用。其中，分子泵作为很多半导体制造设备的零部件之一，广泛应用于IC生产制造的各个工艺。

下面小编就带您走进半导体产业链，并一起探索分子泵在半导体行业的应用。半导体产业链包括上游的半导体支撑产业，中游的半导体制造产业以及下游的半导体应用产业。半导体支撑产业包括半导体材料及设备，其中真空产品主要在半导体设备领域应用；中游半导体制造的是集成电路制造，包括IC设计、IC制造以及IC封测；下游的半导体应用领域众多，半导体应用领域的行业是通信及智能手机、PC/平板、工业/。

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