潽拓——安捷伦Turbo-V 2300服务公司，分子泵

【广州出售】Agilent TPS-compact高真空分子泵组

产品特性：

-   快速抽真空、外形紧凑、干式、耐用的系统

-  新一代安捷伦涡轮泵 TwisTorr 84FS 和 304FS，以及干式涡旋前级泵 IDP-3

-  世界各地的电压 (90-240 V)，通过 CE/CSA 认证

-  优异的极限真空度，低至 10-9 mbar

-  宽范围真空计驱动能力

-  大屏幕压力数据显示器

-  RS-232 或模拟通信、压力驱动设、模拟设

-  可选配轮子

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V 2300服务公司

改进的转子结构

TwisTorr 305 Q 系列分子泵拥有的转子结构：比其他 305 分子泵增加了一级涡轮叶片，并采用了与其他 305 分子泵不同的 MacroTorr 牵引级。MacroTorr 牵引级是专为大气载而设计的，它拥有更宽大的气体通道，解决了其他牵引级结构在高负载长期运行时发热集中的问题，可以承受持续的大气体流量，并可将前级耐压提高至 16 mbar。

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国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa，抽速从20m3/h~500m3/h。据统计，目前国产干泵的应用还不足1%，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。

　　干式真空泵主要应用于半导体、化工、电影、仪器、、食品等范围广泛的行业，市场上超过50%的产品是进口品牌，尤其在半导体行业中，绝大多数的真空泵均为国外品牌，国产真空泵主要应用于化工等行业。

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安捷伦发布了全新一代高真空涡轮分子泵 TwisTorr 704FS。作为一款加持了诸多“黑科技”的全新产品，TwisTorr 704 FS 高真空涡轮分子泵在具有高可靠性的同时，还能做到更经济。

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安捷伦真空近年来陆续发布了多个型号的 TwisTorr 分子泵，该系列把分子泵的典型工作范围从高真空扩展到了超高真空（参考文章：安捷伦TwisTorr超高真空涡轮分子泵特点介绍）。近日，针对一些对压缩比要求不高而气体流量很大的应用，安捷伦真空又发布了 TwisTorr 305 Q 系列分子泵。

抽速、压缩比等性能参数是分子泵设计之初就要首先考虑的，也是各项设计调整优化的重要目标。产品定型时，安捷伦对外发布的各项参数和曲线，比如下图的抽速和压缩比曲线，都来自于这些测试的结果。这些测试都有相关的资质，在此不再展开描述。