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分子泵有三种类型：牵引型分子泵、涡轮分子泵和复合型分子泵。按制造结构，可分为油润滑、脂润滑、磁悬浮(单磁永磁悬浮、全磁悬浮)。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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气膜轴承

使用空气膜轴承的涡轮分子泵已有商品出售，因为空气轴承需要在连续不断地供给无颗粒物的干燥的高压空气。这样空气源的故障将会引起金属高速摩擦接触，使轴承瞬间遭到破坏。

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正确地组合真空泵，由于真空泵有选择性地抽气，因而有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。若真空系统严格要求无油时，则应该选各种无油泵作主泵。如果要求不严格，则可选择有油泵，然后加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。