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OSAKA TG1100FVAB分子泵维修
现在大部分涡轮分子泵转子都用油润滑轴承。因为这种轴承在转子的排气侧,所以油蒸汽不会到达涡轮分子泵的入口。油通过轴上开的倒锥孔上油润滑上、下轴承。在油循环的过程中,应能控制加速、减速、全速运转,转速降低运行或电源故障时的油量。
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任何真空泵都有不足之处,涡轮分子泵也不例外。那么涡轮分子泵它的缺点:(1) 设备费用高;(2) 对颗粒物或沉积物敏感;(3) 噪音与振动;(4) 破碎问题;(5) 暴露大气易引起事故
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OSAKA VACUUM TG1100FV大阪分子泵出售及维修
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分子泵的冷却方式有三种:自然冷却、强制风冷和水冷。300 l/s 以下的分子泵,在没有气体负载的情况下,可以采用自然冷却;较大的分子泵或者有一定的气体负载时,需要选择强制风冷(风扇冷却);对于有些负载很大的应用(比如CVD),或者不方便使用风扇的环境(如辐射环境),需要采取水冷。