广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦分子泵TwisTorr 704FS

测试过程

试验期间，涡轮泵以满转速持续运行。初始的磁场设置为 1mT ，泵在该磁场下运行 12 个小时以稳定转子温度；然后关闭磁场，再运行 12 个小时以使转子降温；然后再分别把磁场设置为 2mT，按照前面的步骤继续进行测试，直至磁场增加到 7mT 。

测试结果

当磁场逐步增加后，被测分子泵转子的平衡温度也随之上升，当磁场强度为 7mT 时，平衡温度上升到 100 摄氏度左右（安捷伦分子泵的允许温度为 120 度）。

另外，KIT 使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵，一系列的对比测试表明，安捷伦分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低（ 5mT 时，低大约40度）。

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TwisTorr 404 FS 涡轮分子泵TwisTorr 404 FS 配备 DN100 法兰，可提供 400 L/s 的抽速，对轻质气体可实现高压缩比，还配备已注册商标的安捷伦悬浮轴承技术 (AFS)，确保低振动和低噪音，适用于各种敏感环境。TwisTorr 404 FS 的高压缩比、高前级耐压能力和免维护运行使其成为一种可靠、、低成本的分子泵。

404 FS 是 UHV 系统、核研究、离子注入器、表面分析、电子显微镜和低温应用的选择。该泵的智能控制器可根据系统需要自动优化泵的性能。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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CombiNEG系列可复合2000L/s的吸气剂泵，其开启工作时可将前级泵隔离封闭抽气，可靠性高，对环境磁场的影响也很小，并且无油无振动，表面科学仪器和设备等需要超高真空、极高真空的系统。双泵复合单一抽气口的设计，使其结构很紧凑，安装使用也更简单。

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安捷伦 HLD 系列检漏仪有一个大漏粗测模式，该模式采用的不是质谱偏转原理，因此不需要很好的真空，可以在高达 2 万帕的压力下检漏，这一点对于大型真空系统的粗检和复杂系统的排查性检漏特别实用。

安捷伦科技发布了全新的CombiNEG 吸气剂复合型离子泵。该泵大大增强了超高真空时离子泵的抽气能力，为超高真空、极高真空系统的设计提供了新的选择。

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分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称，是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备。分子泵内部有高速旋转的转子，支撑转子平滑转动的轴承承担了很大的负荷，正确的使用和及时的保养，对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。

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扩散泵工作时，从喷塔高速喷射的油蒸汽在泵壁冷凝后沿泵壁流到下面油池，并从油池边缘向中心流动，在流动的过程中，油的温度逐渐升高，油中沸点比较低的小分子组分，在靠近油池边缘的地方就会汽化，而沸点比较高的大分子组分，则会在靠近油池中心的地方汽化。一般的扩散泵喷塔各级喷嘴之间是互相联通的，而安捷伦扩散泵的喷塔各级喷嘴彼此独立，特别是喷塔，只有沸点高的大分子油蒸汽才会从这里喷出，这一特点不仅扩散泵极限真空很好，而且由于高沸点的泵油更不容易二次挥发，使得泵的返油率很低。