广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦
安捷伦分子泵标准保养服务安捷伦维修中心提供各型号安捷伦分子泵的标准保养服务,主要项目包括:对整泵进行拆解和清洗、更换密封和轴承套件、动平衡调试和泄漏检测等。安捷伦的分子泵设计是免日常维护的。由于工艺环境差异,分子泵的工作寿命差别很大,但是如果分子泵已经工作了很长时间(5年以上),或者出现了噪音、温度、功率异常,及时的对其进行维护保养可以大大延长其使用寿命。
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油润滑分子泵:润滑油量小,且在前级真空段,对真空室污染小。脂润滑分子泵:油脂量小,前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。全磁悬浮分子泵:无须润滑,与干泵一起使用,可获得无油的清洁真空环境
干式真空泵主要应用于半导体、化工、电影、仪器、食品等范围广泛的行业,市场上超过50%的产品是进口品牌,尤其在半导体行业中,绝大多数的真空泵均为国外品牌,国产真空泵主要应用于化工等行业。
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分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称,是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备。分子泵内部有高速旋转的转子,支撑转子平滑转动的轴承承担了很大的负荷,正确的使用和及时的保养,对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。
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扩散泵工作时,从喷塔高速喷射的油蒸汽在泵壁冷凝后沿泵壁流到下面油池,并从油池边缘向中心流动,在流动的过程中,油的温度逐渐升高,油中沸点比较低的小分子组分,在靠近油池边缘的地方就会汽化,而沸点比较高的大分子组分,则会在靠近油池中心的地方汽化。一般的扩散泵喷塔各级喷嘴之间是互相联通的,而安捷伦扩散泵的喷塔各级喷嘴彼此独立,特别是喷塔,只有沸点高的大分子油蒸汽才会从这里喷出,这一特点不仅扩散泵极限真空很好,而且由于高沸点的泵油更不容易二次挥发,使得泵的返油率很低。
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安捷伦DS系列旋片泵符合CE和RoHS要求,所有的泵均具有UL和CSA认证。安捷伦的技术支持机构确保DS系列旋片泵具有高,且能够适合于绝大多数应用。安捷伦提供抽速从1.8m三次方/h到25m三次方/h小时的系列双极油泵,同时还提供“智能”的HS系列变频泵。
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安捷伦涡旋式干泵采用两个涡旋盘复合成的机械结构,由一个涡旋嵌入另一个涡旋并转动来捕集气体。进入涡旋槽内的气体被移动压缩到涡旋的中信并被排出。涡旋式干泵具有噪音低,震动小,结构简单,运行稳定,维护间隔周期长等优点,而且不易发生可能引起灾难性后果的突发的故障。小型涡旋干泵IDP-3、IDP-7、IDP-10、IDP-15采用单级设计体积小,重量轻,价格低,维护保养周期间隔时间长,运行稳定,是很多应用领域的选择,如分析仪器,科研等。安捷伦Triscroll 和变频Triscroll 涡旋式干泵为双级涡旋式干泵,是目前市场上极限真空度的干泵。