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什么是电离真空计的外控接法?有何好处?
答:如规管的栅极作为电子加速极,而板极作为离子收集极,此种接法即为外控接法。其好处是电子在加速中不易被栅丝截获,并受灯丝和板极的电位排斥,可以在灯丝与板极的空间,反复穿过栅极来回振荡,如此,可显著提高测量的灵敏度。
影响热阴极电离真空计测量下限的原因是什么?如何改进?
答:电子打到收集极上产生软X射线辐射,离子收集极吸收了软X射线会产生光电子发射,由此形成的电子电流正好与离子电流方向一致,故叠加在一起,但此电流与压力无关,当压力降低到形成的离子电流明显小于光电流时,收集极的离子流便不再随压力变化,即到达测量下限。增大离子流,减小光电流可以使测量下限的拓展。
真空检漏的意义?答:真空系统的极限真空决定于系统的抽速和漏气量,故在抽速一定时,漏气量就决定了真空度,欲使系统达到预定的极限真空,必须通过检漏和堵漏使系统的漏气量控制在允许漏率范围内。
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inficon技术:(1)从微机电系统(inficon)发展到纳机电系统(NEMS)的启示;(2)inficon加速度计、陀螺仪及组合式惯性传感器技术及应用;(3)光学传感器和气体传感器技术及应用;(4)inficon谐振器和振荡器技术及应用;(5)inficon制造工艺;(6)inficon封装技术;(7)inficon产线参观学习:苏州inficon中试平台和捷研芯量产封装产线。
上世纪50年代,D.J.Pacey研究用石英晶振测量气体压强。他采用双三级管(电子管)做电路,其一侧与晶振构成Pierce-Miller振荡器,晶振置于被测气体中作压强传感器。当气体压强变化时,阳极电流也随之变化。据称该仪器可测105Pa到13.3Pa的压强。
到了20世纪80年代,M.Ono等人设计了测量范围从1.33Pa到大于105Pa的石英真空计。所用晶振为音叉结构,长2.66mm,宽0.3mm,厚0.13mm,谐振频率为32768Hz。仪器采用位相锁定环路,(phaselookedloop)使振荡电路的频率与晶振的谐振频率保持一致。为了进一步减小下限,经过对石英晶振结构的研究,选用10mm长的晶振做成0.133Pa~105Pa测量范围的真空计。
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真空计,又叫真空规。
半导体行业中,难以避免的使用真空计,主要是用于测量某一个腔室或是管路中的气体压强。
是什麽?能干什么?如何使用?
1,是什麽?真空计,字面意思,计量检定真空度的仪器设备。
2,能干什么?真空计关键用于测量真空,或是叫测量气体压强尺寸。腔室里边汽体多,压力大,气体压强大,真空计表明的标值就大;相反,真空计表明的标值小。
3,如何使用?一般便是把真空计的物理性插口,KF接口或是是外螺纹插口收到腔室上,随后把真空计的电气设备插口收到电脑上或是型的数显仪表上。那样就可以测量腔室的真空度,也可以见到真空度实际的数据了。
真空计的种类及基本原理
真空计(VacuumGauge),又被称为真空规,是测量真空度或标准气压的仪器设备。一般利用不一样标准气压下的某类物理学效用的变动开展标准气压的测量。在科学研究和工业制造中普遍应用。依照真空计测量基本原理所利用的差异的物理学体制,可将具体的真空计分成三大类,分别是利用物理性能,利用汽体动力学模型和利用自由电子作用的真空计。
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