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传感器的操作理念展现了设计和功能性是如何做到相互的。即使如此，高可用性的重要性也是高于用户友的，因为压力传感器需要进行连续多年测量和监测工作，PS+系列采用特殊的密封设计。因此无比坚固，完全ISO防护等级IP6K6K、IP6K7和IP6K9K的要求，PS+系列

压力传感器包括采用久经考验的陶瓷测量元件(PS310)或全焊接金属测量元件(PS510)两种类型，这些全焊接测量元件耐过压能力高达额定压力的7倍。必要时，传感器也可安装峰值压力孔，由于可以读取测量值和小、大压力。可以实现类似具有存储功能的数字式指针压力计的功能。

谱拓科技唯实致力于提供的真空控制、检测仪器、光机电一体化设备，以的产品和服务为客户创造价值。以技术创新为手段，以产品专门化、规模化生产为基础，努力发展成为国内仪器设备，特别是在真空领域具有竞争力的生产、服务型企业。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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PID控制算法简单、鲁棒性好、可靠性高，在静电力反馈微传感器中应用广泛。PID控制器中的比例作用可以及时反映系统的误差信号，并减小系统偏差；积分作用可以消除稳态误差，实现对设定值的无静态跟踪；微分作用可以改善系统的响应速度和稳定性。通过正确地设置PID控制器的参数，就可以使其满足静电力平衡式inficon电容薄膜真空计的测量要求。

根据对inficon电容薄膜真空计的微电容测量方法的分析，可以看出，针对不同结构的敏感电容，存在不同的测量方法。单侧电极微电容测量法电路结构简单，易于实现，适用于敏感电容初值较大且电容变化量也较大的场合。在测量的过程中，可以引入一个电容值与敏感电容初值相等的参考电容来构成差分测量电路，从而在一定程度上消除寄生电容的影响，提高系统的线性度。

双侧电极微电容测量法适用于敏感电容为差动结构且初值及变化量都很小的场合，其电路通常包含开关电容电路以及时钟电路，这就使得电路结构比较复杂，但在双侧电极微电容测量法中，传感器与检测电路构成了双差动结构，从而能抑制测量过程中的噪声、减小寄生电容的影响，具有较高的电源抑制比及共模抑制比。

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inficon技术：（1）从微机电系统（inficon）发展到纳机电系统（NEMS）的启示；（2）inficon加速度计、陀螺仪及组合式惯性传感器技术及应用；（3）光学传感器和气体传感器技术及应用；（4）inficon谐振器和振荡器技术及应用；（5）inficon制造工艺；（6）inficon封装技术；（7）inficon产线参观学习：苏州inficon中试平台和捷研芯量产封装产线。 

上世纪50年代，D.J.Pacey研究用石英晶振测量气体压强。他采用双三级管（电子管）做电路，其一侧与晶振构成Pierce-Miller振荡器，晶振置于被测气体中作压强传感器。当气体压强变化时，阳极电流也随之变化。据称该仪器可测105Pa到13.3Pa的压强。

到了20世纪80年代，M.Ono等人设计了测量范围从1.33Pa到大于105Pa的石英真空计。所用晶振为音叉结构，长2.66mm，宽0.3mm，厚0.13mm，谐振频率为32768Hz。仪器采用位相锁定环路，（phaselookedloop）使振荡电路的频率与晶振的谐振频率保持一致。为了进一步减小下限，经过对石英晶振结构的研究，选用10mm长的晶振做成0.133Pa~105Pa测量范围的真空计。

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