潽拓——Edwards分子泵控制器，分子泵

维修保养Leybold MAG W 2200iPL分子泵

德国莱宝Oerlikon  Leybold Mag Turbo Pump MAG系列磁悬浮分子泵/销售/维修/保养:

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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    莱宝Leybold turbovac MAG W 3200涡轮分子泵


     TURBOVAC MAG W 3200 C/CT常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业，涡轮分子泵用于以下应用场合：- 蚀刻；- 溅射；- 离子注入；- CVD；- 光刻。这些应用中，经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵，以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻，涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象， 选用带温度控制的扩展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG 3200可以防止这种情况。与机械轴承涡轮分子泵相比，磁悬浮泵的优势在于气体流量较大时可以防止轴承过热，能够有效地防止腐蚀性介质对磁悬浮轴承的损坏。