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随着真空泵使用范围越来越广，了解其相关参数对于之后的生产工作的展开十分重要。1、抽气速率(体积流率)：当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上位置测得的平衡压力之比。简称泵的抽速。即在一定的压力、温度下，真空泵在单位时间内从被抽容器中抽走的气体体积。

极限压力(极限真空)：泵装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的比较低压力。即真空泵的入口端经过充分抽气后所能达到的比较低的稳定的压力。 3、起动压力： 泵无损坏起动并有抽气作用的压力 4、前级压力： 排气压力低于一个大气压力的真空泵的出口压力。 5、比较大前级压力： 超过了能使泵损坏的前级压力。

比较大工作压力：对应比较大抽气量的入口压力。在此压力下，泵能连续工作而不恶化或损坏。 抽气量： 流经泵入口的气体流量。 压缩比： 泵对给定气体的出口压力与入口压力之比。分子真空泵主要是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使气体分子获得定向运动的速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵牵引分子真空泵，气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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涡轮分子泵的工作特性主要表现在以下几个方面：压缩比与前一阶段压力之间的关系泵选择机械泵作为前级泵。当当前级压力满足一定要求时，分子泵稳定工作，减压比保持恒定。如图464所示，当当前级压力升至1Pa时，子压缩比开始降低，而当当前级压力升至数十帕斯卡时，压缩比急剧下降，分子泵无法正常工作。

抽速与气体类型之间的关系。所示的关系是，该变化比直线稍慢。这是因为，在旋转速度下，P较大的气体具有较大的速度比，因此叶片的Hoe系数较大，但是它们在进气管中的电导率是由于增加和减少。涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。

涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能、可控热核反应装置、重粒子以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。

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实验与分析氦质谱检漏仪工作在不同的分子泵转速下，在仪器的检漏口连接标漏信号，检测氦质谱检漏仪在不同分子泵转速下，所获得的信号值。

实验器材：

(1)氦质谱检漏仪SFJ-231,1台；

(2)渗氦型标准漏孔（3.0×10-10Pa.m3/s),1只；

(3)渗氦型标准漏孔（1.5×10-Pa.m/s),1只；

(4)标准漏孔TL4-6,1只。

实验步骤：

(1)开启氦质谱检漏仪；

(2)仪器进入检漏状态运行2h后；

(3)仪器按下停止键，仪器进入待机状态(4)进入仪器的参数设置，将分子泵的转速设定为1500Hz；

(5)待仪器进入待机状态

(6)将渗氦型标准漏孔(3.0×100Pa.mYs)连接在检漏口；

(7)检漏仪按开始键，检测仪器的显示值，并记录；

(8)仪器按下停止键后按下开始键，再次检测仪器的显示值，共记录3次数据(9)仪器在待机状态，进入仪器的参数设置，将分子泵的转速设定为1000Hz；

(10)重复7、8步骤；

(11)进入仪器的参数设置，将分子泵的转速设定为1500Hz；

(12)在仪器检漏口连接渗氦型标准漏孔(1.5X10*Pa.ms)1只；

(13)重复7、8、9、10步骤(14)进入仪器的参数设置，将分子泵的转速设定为1500Hz；

(15)在仪器检漏口连接标准漏孔TL4-6(16)重复7、8、9、10步骤。

(16)重复7、8、9、10步骤。

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