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大阪真空涡轮分子泵越来越多地用于现代半导体工业。 溅射、蚀刻、蒸发、注入、分子束外延和离子处理等设备都需要在真空环境中运行。 近十年来，国内外涡轮分子泵得到了显着的改进和发展。 在涡轮分子泵的应用日益增多的情况下，干式前级泵并没有得到广泛的推广和应用，有时不得不使用油封机械泵作为涡轮分子泵的前级泵。 因此，针对这种情况，涡轮分子泵的合理选择和正确运行显得非常重要。
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大阪涡轮（复合）分子泵
用 途■小型实验设备的排气■装载室，搬送式排气■分析?测量仪器的排气■吸附?搬送■的排气■封装排气■电子，离子源的排气■干燥■溅射蒸镀等PVD设备排气■小型炉排气■分子泵等高真空泵的辅助泵
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任何真空泵都有不足之处，涡轮分子泵也不例外。那么涡轮分子泵它的缺点：(1) 设备费用高；(2) 对颗粒物或沉积物敏感；(3) 噪音与振动；(4) 破碎问题；(5) 暴露大气易引起事故
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OSAKA 大阪TG220FCAB分子泵检测维修
卧式涡轮分子泵结构的分子泵是双轴流抽气时转子受力均匀，轴承定位、受力状态好，使用寿命长，且轴承更换过程中，转子位置不动，维修方便。
卧式泵有两组涡轮叶片，体积大，外壳形状复杂，因而造价也较高。
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