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涡轮分子泵只有在通过其的气流是自由分子流时 才能工作。换句话说,气体压力必须足够低,以使分子撞击周围表面的频率比分子间的碰撞的频率更加频繁。因此,该泵仅在使用粗抽泵将压力降低到约 0.1Pa 之后才能实现超真空条件。
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分子泵是一种高真空泵,它必须配合合适的并且性能良好的前级泵才可以正常工作;除了在选型时尽量选择推荐的前级泵之外
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