广州潽拓光电科技有限公司

广州ULVAC分子泵维修说明「多图」

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  • 主营产品:分子泵控制器,真空分子泵,AE电源,真空油泵,真空系统
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涡轮分子泵抽速范围10至2700L/S,转速很高90,000rpm,极限真空很大1E-11mbar,对小分子气体具有更高的压缩比,实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100,000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用,推荐搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型应用>>



分子泵故障:1、分子泵为何会发生半边热,半边冷的现象?原因:附近有光照或其他热源解决方法:避免光照或热源2、分子泵使用中发现油发黑,请问油为什么发黑?或者多长时间油才会变黑?原因:冷却不良,负载太大解决方法:检查冷却系统,检查真空系统



分子泵在运转过程中,出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常,之后又下降至一定频率,再恢复到正常,反反复复,更换电源后现象仍如此,请问该现象如何解释?原因:负载太大,系统真空度不够解决方法:检查系统4、分子泵轴承为什么会烧毁原因:①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘解决方法:①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘

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ARPES光束线客户案例:某光源ARPES光束线真空系统,真空系统是同步辐射光束线的重要组成部分,只有在真空环境中运行,光学元件才能够将同步辐射光传输到试验站,真空系统的作用就是获得并维持合理的真空度,保证光束线的稳定运行.此系统搭配爱发科分子泵80,及配套真空规.



真空系统要求(分子泵):

1.静态真空(无束流):5x10-8Pa,动态真空(有束流):

2.真空系统基本配置:离子泵+无油分子泵+冷阴极真空规管+气体分析仪超高真空系统配置:

涡轮分子泵

接口:DN100CF-F

极限真空:氮气压缩比:>1X1011涡轮分子泵80

接口:DN63CF-F

极限真空:氮气压缩比:>1X1011残余气体分析仪PrismaPro

质量数:1-300amu

四极杆直径/长度:6/125mm

很大工作压力FhPa:5X10-4



涡轮分子泵抽速范围10至2700L/S,转速很高90,000rpm,极限真空很大1E-11mbar,对小分子气体具有更高的压缩比,实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100,000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用,推荐搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型应用>>

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设置为1mT,泵在该磁场下运行12个小时以稳定转子温度;然后关闭磁场,再运行12个小时以使转子降温;然后再分别把磁场设置为2mT,按照前面的步骤继续进行测试,直至磁场增加到7mT。当磁场逐步增加后,被测分子泵转子的平衡温度也随之上升,当磁场强度为7mT时,平衡温度上升到100摄氏度左右(分子泵的很大允许温度为120度)。



另外,使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵,一系列的对比测试表明,分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低(5mT时,低大约40度)。2020年12月10日,真空推出全新350和450涡轮分子泵,该产品特别适用于质谱分析、电子显微术、测量技术、粒子加速和等离子体物理方面的应用。新产品的应用领域十分广泛,除了用于分析、真空工艺和半导体技术外,还可用于真空镀膜、研发以及工业领域。



350和450性能强大、重量轻且占地面积小。凭借由前级真空侧陶瓷球轴承和高真空侧永磁径向轴承所组成的混合轴承,系列涡轮分子泵的轴承非常坚固,确保了很佳的可靠性。创新性的转子结构设计赋予了该涡轮分子泵诸多优点:对小分子气体的抽吸能力更大、前级真空泵兼容性广泛、气流量高以及对小分子气体的压缩比。由于可以安装在任意所需方向,该系列泵具有的和灵活性。


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