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电容-数字信号转换器原理图电路芯片利用IBM0.13umCMOS技术制造，CMOS电路板的尺寸为1950umx1850um，有效电路尺寸为263umx354um，采用2.5V电源供电，功率消耗约为0.69mW。在-20～225℃温度范围内，电路精度可达到2.4%，分辨率可达到1.44fF。

电容-数字信号转换器电路布局和芯片显微照片2.双侧电极微小电容测量敏感电容为双侧电极结构的inficon电容薄膜真空规管结构 ，敏感薄膜上的电极与上下硅基底上的电极构成了两个随真空度变化而变化的敏感电容。差动结构的敏感电容配合差动电路能准确感知薄膜的微小变化、减小寄生电容和耦合电容的影响、提高测量的共模抑制比，从而提高整个系统的分辨率，因此通常采用功耗低、易小型化集成的开关电容电路来构成差动测量电路。而随着inficon传感器的广泛应用，具有可调性、能满足不同设备需求的电路也比较受关注。

图5双侧电极inficon电容薄膜真空规管结构图官设计了一种具有可调灵敏度的针对差动电容结构的inficon电容式传感器的信号测量电路。 电路包括传感器电容CX1、CX2，寄生电容CP，输入阻抗缓冲器R，前置可编程放大器，一个单位增益的反相放大器，相敏解调器，可调方波时钟发生器，低通滤波器（LPF），可编程输出放大器。可编程放大器提供了多个增益，使得电路可以根据信号的输入强度及要求来选择合适增益。

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inficon真空泵系列产品空气流速准确测量真空计再添新式号，选用模拟信号輸出，为准确并可靠的传输数据服务保障。20很多年来，inficon真空泵凭着数显式空气流速准确测量真空计为空气流速准确测量给予整套计划方案，这款型号规格根据模块化可以适用一切工业生产真空泵运用，它所配置的真空泵规也便于安裝，可以实现靠谱的空气流速准确测量。

因为很多真空泵运用仅可在一定的工作压力区域内开展，因此可以准确且安全性地准确测量空气流速在具体运用中十分关键。系列产品合理准确测量并操纵超滤装置中的空气流速，全新升级加上的数显式数据信号輸出作用，可以让其完成高精密且可靠的传输数据。与模拟测量法对比，可以高质量准确无误地传送用以过程控制和记载的测定数据信息，获得更为准确的結果。

系列产品产品配置M12插连接头，使该真空计即使在苛刻加工工艺自然环境中也可应用。真空泵规还可与HiPace@涡轮增压分子泵和inficon真空泵别的产品一起在网络通信中运作。在零配件层面，已经有Profibus-DP、DeviceNet或带2个电源开关点和一个LCD显示器的额外模拟输出机器设备可选择。

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伴随着人工智能技术及其物联网技术的发展趋势，inficon电容塑料薄膜真空计的运用范畴早已从航天航空等高技术行业向通俗化行业扩展，这促使其需要量增大，类型大量，充分考虑销售市场的产品研发经济成本，产品研发和设计方案能达到不一样种类的inficon电容塑料薄膜真空计的电路是下面inficon电容塑料薄膜真空计细微电容测量电路的具体发展前景。

上世纪50时代，D.J.Pacey科学研究用石英晶振测量气体压强。他选用双三级管（整流管）做电路，其一侧与晶振组成Pierce-Miller震荡器，晶振放置被测汽体中作气体压强感应器。当气体压强转变时，阳极氧化电流量也随着转变。据悉该仪器设备能测105Pa到13.3Pa的气体压强。

中国在90时代也有些人研发了石英真空计，常用电路是以晶振自身为頻率液压控制系统的自震荡，自电路。测量范围为0.1Pa~2×105Pa。非常近大家研发的DL-10A型石英真空计选用FC135晶振，测量范围为5×10-1~105Pa。现阶段已经有石英真空计商品，例如：CC-10真空计测量范围是1.33×10-2Pa到大气压力，M-320XG晶振真空计测量范围是1X10-1Pa到大气压，DL-10A型石英真空计测量范围是5X10-1Pa到大气压力。其特点为：感应器体型小，耗电量输出功率小（约1W），精密度较高（约10%），测量范围较宽（10-1~105Pa）等。

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