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静电力平衡式微电容测量法适用于静电力平衡式inficon电容薄膜真空计，电路为闭环结构，包括微电容测量电路和静电力控制回路，其中静电力控制回路用来产生平衡感压薄膜的静电力，对系统的测量性能有着至关重要的影响，该方法在保证真空计高准确度测量的同时还能拓宽其动态测量范围。

inficon电容薄膜真空计用于真空测量，要求在较宽的压力测量范围内能测得较小的压力变化量，同时需要满足深空探测、临近空间探测以及空气动力学实验等活动中测量仪器小型化的要求，所以测量电路应该在满足测量要求的前提下尽可能实现集成化、小型化、功耗低。因此，针对不同电极结构的inficon电容薄膜真空计微电容测量电路应朝着易于集成、小型化的方向发展。

由于基于开关电容法的微电容测量电路易于集成，而静电平衡结构的微电容测量法有拓宽动态测量范围的优势，因此基于两者结合的微电容测量电路有望实现对inficon电容薄膜真空计整体测量性能的提升。另外，随着人工智能以及物联网的发展，inficon电容薄膜真空计的应用范围已经从航空航天等领域向大众化领域拓展，这使得其需求量变大，种类更多，考虑到市场的研发时间成本，研发和设计能满足不同类型的inficon电容薄膜真空计的电路是接下来inficon电容薄膜真空计微小电容测量电路的主要发展方向。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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inficon真空计(表)在市场有很多家地下作坊，他们没有检测设备，不懂压缩球容积跟测量毛细管之间的匹配关系，只是一味的照葫芦画瓢，数据和真实值相差甚远，由于很多用户本来就不知道真空测量的理论，以为只要是inficon真空计测量出来的数据就是对了，

殊不知与真实的数据相差很大，大部分测量的数据都是偏小的，因为他们只知道把压缩球泡缩小就能省点，能省下很多的钱，在网上可以说98%的inficon真空表都是假货或者称产品，不信的客户可以请他们送上海市计量测试研究院进行检测。

在这里我要为我们的inficon真空仪表 做一次宣传广告，我们公司的产品是经过好几个检测环节 很后上测试系统进行出厂检测，合格了才准予销售的，可经得起计量院检测的， 很后我奉劝需要购买的用户不要贪图便宜，因为这网上的便宜的inficon真空表确实不是好产品！

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气体的真空磁导率比灯丝的直徑大许多时，Qg根据随意分子结构的导热被表明为式中α———适度参量；Λ———分子结构的热传导率；d———灯丝直徑；a———灯丝长短；T———灯丝温度；T0———金属材料圆桶的温度；p———气体气体压强。Qs和Qr可以各自表述为式(4-8)意味着电级的导热，在其中S是灯丝的断总面积，κ是固态的热传导率，L是电级的长短。式(4-9)意味着辐射热，σ和ε分别是玻尔兹曼参量和固态辐射率。假如维持T和T0一定，则式(4-8)和式(4-9)为参量。

假如用I20R表明一定量的固态导热和辐射热，则式(4-6)可以表述为I0是灯丝的电流量，持续填补固态导热和辐射热而提供的热能损害。A不是依附气体压强的参量。假如已经知道灯丝的电阻器R、电流量I0及参量A，则可以根据式(4-10)求取气体压强p。热电阻真空计的气体压强检测范围在0.1～300Pa，具备下列优势：(1)构造简易、非常容易生产制造、非常容易实际操作；

工作中温度、工作标准电压较低；(3)测定读值为全气体压强，而且可以完成长距离的连续性准确测量。可是，热电阻真空计具备受温度危害大、读值時间落后、读值因气体类型而异、读值必须校正等缺陷。二、热偶真空计工作中特点热偶真空计是相对性真空计，其工作压力-热偶电势差相匹配值无法用计算方式准确求取，因而，经常在规范自然环境情况下，用肯定真空计或用校正系统软件经校正明确。

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